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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉进气改进机构，属于化学气相沉积领域，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述炉体内部设有炉腔，所述进气装置包括通气管，所述通气管自上而下环绕炉腔外侧设置，所述炉腔外侧沿通气管长度方向均匀设置有通孔，所述通...
该专利属于杭州超然金刚石有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州超然金刚石有限公司授权不得商用。

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