在线监控存储器ONO膜层质量的方法、装置及可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法、装置及可读存储介质，应用于半导体技术领域。由于在高温状态下，存储器ONO膜层中存储的电荷会出现电荷逃逸的现象，因此，可以通过高温烘烤后的存储器ONO膜层的剩余阈值电压窗口是否满足该阈值电压窗口对应的标准值的方式，评估存储器ONO膜层质量，从而实现在线监控存储器ONO膜层质量。进一步的，可以通过确定执行多次循环编程擦除操作之后的监控片的阈值电压窗口是否符合阈值电压窗口的标准要求，来在线评估存储器ONO膜层的在循环编程擦除后的循环可靠性特性及数据保持能力特性。

【技术实现步骤摘要】
在线监控存储器ONO膜层质量的方法、装置及可读存储介质
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法、装置及可读存储介质。
技术介绍
SONOS(Semiconductor-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor)闪存器件，由于具备良好的等比例缩小特性和抗辐射特性，已经成为了目前主要的闪存类型之一。但SONOS闪存器件在应用上还面临着许多问题，其中，可靠性相关的问题主要有两个：一是Endurance(电擦写持久力)特性，即衡量SONOS器件在多次编程/擦除之后，器件特性方面可能的退化。二是DataRetention(数据保持力)特性，即SONOS器件的数据保存能力。目前，业界对SONOS的数据保持力特性的评估方法是通过产品及电路层级的评价来评估，即，在整个芯片形成之后进行测试评估。然而，通过电路级测试虽然比较全面，但需要在所有的工艺完成之后进行，不能实时判断出ONO膜的好坏，这样就带来了生产线的极大风险。而且，目前暂无有效的在线(inline)监控手段对SONOS闪存的数据保持力进行直接监控。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法，以解决现有技术中无法进行在线监控存储器ONO膜层的质量的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法，包括：提供一具有ONO膜层的监控片，所述监控片上的ONO膜层与制作存储器的晶片上的ONO膜层一道形成，所述ONO膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层和氧化硅膜层；对所述监控片进行预操作，所述预操作包括对所述监控片进行初始编程操作和初始擦除操作；确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口；对所述预操作之后的所述监控片进行第一次烘烤处理，并确定所述第一次烘烤处理之后的所述监控片对应的第二阈值电压窗口；判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层的质量，以监控存储器ONO膜层质量。可选的，判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层质量，以监控存储器ONO膜层质量的步骤，可以包括：若所述第二阈值电压窗口不小于所述第二阈值电压窗口的标准值，则确定所述制作存储器的晶片上的ONO膜层具有符合存储器设计要求的数据保持能力特性。可选的，确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口的步骤，可以包括：在对所述监控片进行初始编程操作之后，获取初始编程操作之后的所述监控片对应的第一电容-电压曲线，并将所述第一电容-电压曲线中的峰值点对应的第一电压值作为所述监控片的初始编程状态电子电压；在对所述监控片进行初始擦除操作之后，获取初始擦除操作之后的所述监控片对应的第二电容-电压曲线；并将所述第二电容-电压曲线中的峰值点对应的第二电压值作为所述监控片的初始擦除状态电子电压；将所述初始编程状态电子电压与所述初始擦除状态电子电压进行相减运算，并将相减之后得到的电压作为第一阈值电压窗口。可选的，对所述监控片进行预操作之后，还可以包括：对所述预操作之后的监控片进行预设次数的循环编程擦除操作，得到循环编程擦除之后的监控片；确定所述循环编程擦除之后的监控片对应的第三阈值电压窗口；判断所述第三阈值电压窗口是否满足第三阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的循环可靠性特性。可选的，在确定所述循环编程擦除之后的监控片对应的第三阈值电压窗口之后，还可以包括：对所述循环编程擦除之后的监控片进行第二次烘烤处理，并确定所述第二次烘烤处理之后的所述监控片对应的第四阈值电压窗口；判断所述第四阈值电压窗口是否满足第四阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的数据保持能力特性。可选的，所述第一次烘烤处理和所述第二次烘烤处理的工艺条件分别为：温度的取值范围可以为：80℃～250℃；操作时间范围可以为：100h～250h。基于如上所述的在线监控存储器ONO膜层质量，本专利技术还提供了一种在线监控存储器ONO膜层质量的装置，包括：监控片提供模块，用于提供一具有ONO膜层的监控片，所述监控片上的ONO膜层与制作存储器的晶片上的ONO膜层一道形成，所述ONO膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层和氧化硅膜层；预操作模块，用于对所述监控片进行预操作，所述预操作包括对所述监控片进行初始编程操作和初始擦除操作；第一确定模块，用于确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口；第一烘烤处理模块，用于对所述预操作之后的所述监控片进行第一次烘烤处理，并确定所述第一次烘烤处理之后的所述监控片对应的第二阈值电压窗口；第一判断模块，用于判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层的质量，以监控存储器ONO膜层质量。可选的，所述第一确定模块，可以包括：第一确定单元、第二确定单元和第三确定单元；其中，第一确定单元，用于在对所述监控片进行初始编程操作之后，获取初始编程操作之后的所述监控片对应的第一电容-电压曲线，并将所述第一电容-电压曲线中的峰值点对应的第一电压值作为所述监控片的初始编程状态电子电压；第二确定单元，用于在对所述监控片进行初始擦除操作之后，获取初始擦除操作之后的所述监控片对应的第二电容-电压曲线；并将所述第二电容-电压曲线中的峰值点对应的第二电压值作为所述监控片的初始擦除状态电子电压；第三确定单元，用于将所述初始编程状态电子电压与所述初始擦除状态电子电压进行相减运算，并将相减之后得到的电压作为第一阈值电压窗口。可选的，所述装置还可以包括：循环编程擦除模块，用于对所述预操作之后的监控片进行预设次数的循环编程擦除操作，得到循环编程擦除之后的监控片；第二确定模块，用于确定所述循环编程擦除之后的监控片对应的第三阈值电压窗口；第二判断模块，用于判断所述第三阈值电压窗口是否满足第三阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的循环可靠性特性；第三确定模块，用于对所述循环编程擦除之后的监控片进行第二次烘烤处理，并确定所述第二次烘烤处理之后的所述监控片对应的第四阈值电压窗口；第三判断模块，用于判断所述第四阈值电压窗口是否满足第四阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的数据保持能力特性。此外，本专利技术还提供了一种包含计算机可执行指令的可读存储介质，其特征在于，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时，用于执行如上所述的在线监控存储器ONO膜层质量的方法。与现有技术相比，本专利技术提供的技术方案至少具有如下有益效果之一：本专利技术提供了一种新型的在线监控存储器ONO膜层质量的方法及装置。具体的，在本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，包括：/n提供一具有ONO膜层的监控片，所述监控片上的ONO膜层与制作存储器的晶片上的ONO膜层一道形成，所述ONO膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层和氧化硅膜层；/n对所述监控片进行预操作，所述预操作包括对所述监控片进行初始编程操作和初始擦除操作；/n确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口；/n对所述预操作之后的所述监控片进行第一次烘烤处理，并确定所述第一次烘烤处理之后的所述监控片对应的第二阈值电压窗口；/n判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层的质量，以监控存储器ONO膜层质量。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，包括：
提供一具有ONO膜层的监控片，所述监控片上的ONO膜层与制作存储器的晶片上的ONO膜层一道形成，所述ONO膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层和氧化硅膜层；
对所述监控片进行预操作，所述预操作包括对所述监控片进行初始编程操作和初始擦除操作；
确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口；
对所述预操作之后的所述监控片进行第一次烘烤处理，并确定所述第一次烘烤处理之后的所述监控片对应的第二阈值电压窗口；
判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层的质量，以监控存储器ONO膜层质量。


2.如权利要求1所述的在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，判断所述第二阈值电压窗口是否满足第二阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层质量，以监控存储器ONO膜层质量的步骤，包括：
若所述第二阈值电压窗口不小于所述第二阈值电压窗口的标准值，则确定所述制作存储器的晶片上的ONO膜层具有符合存储器设计要求的数据保持能力特性。


3.如权利要求1所述的在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，确定所述预操作之后的所述监控片对应的第一阈值电压窗口的步骤，包括：
在对所述监控片进行初始编程操作之后，获取初始编程操作之后的所述监控片对应的第一电容-电压曲线，并将所述第一电容-电压曲线中的峰值点对应的第一电压值作为所述监控片的初始编程状态电子电压；
在对所述监控片进行初始擦除操作之后，获取初始擦除操作之后的所述监控片对应的第二电容-电压曲线；并将所述第二电容-电压曲线中的峰值点对应的第二电压值作为所述监控片的初始擦除状态电子电压；
将所述初始编程状态电子电压与所述初始擦除状态电子电压进行相减运算，并将相减之后得到的电压作为第一阈值电压窗口。


4.如权利要求1所述的在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，对所述监控片进行预操作之后，还包括：
对所述预操作之后的监控片进行预设次数的循环编程擦除操作，得到循环编程擦除之后的监控片；
确定所述循环编程擦除之后的监控片对应的第三阈值电压窗口；
判断所述第三阈值电压窗口是否满足第三阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的循环可靠性特性。


5.如权利要求4所述的在线监控存储器ONO膜层质量的方法，其特征在于，在确定所述循环编程擦除之后的监控片对应的第三阈值电压窗口之后，还包括：
对所述循环编程擦除之后的监控片进行第二次烘烤处理，并确定所述第二次烘烤处理之后的所述监控片对应的第四阈值电压窗口；
判断所述第四阈值电压窗口是否满足第四阈值电压窗口标准要求，并以此评估所述监控片上的ONO膜层在循环编程擦除后的数据保持能力特性。


6.如权利要求5所述的在线监控存储器ONO膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：高勇平，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31