横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括准直光源、带有已知底角度数的多边形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并结合差分波前的几何特征分布，计算出剪切量的大小，从而实现对波前传感器剪切量的标定。

【技术实现步骤摘要】
横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法
本专利技术属于光学横向剪切干涉检测领域，涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。
技术介绍
横向剪切干涉是一种典型的无需标准镜的波前干涉测量技术。待测波前与其自身横向错位后的剪切波前叠加发生干涉。由于不依赖标准镜或小孔衍射产生所需的理想参考波前，故相比于相移点衍射干涉等传统干涉技术，横向剪切干涉技术可以简化光路结构、减小操作难度，具有动态范围大、易于集成化和仪器化等优点，常用于测试大型光学元件的表面面形。此外，等光程、共路的特性使得横向剪切干涉技术受空气扰动和机械振动等环境噪声的影响更小。横向剪切干涉测量的是待测波前在剪切方向的斜率或差分信息，需要进行波前重建才能获取待测波前自身。而且对于非旋转对称波前，一般需要在正交方向上分别进行一次测量，获取两个相互垂直方向上的差分信息才能完整地重建待测波前。待测波前的重建算法主要分为两类，即模式法和区域法。1975年，Rimmer和Wyant提出的Rimmer-Wyant方法是最早出现的基于Zernike多项式的模式法(M.P.Rimme本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置，包括波前发生装置(1-1)、相位台阶标定板(1-2)、与待标定的波前传感器(1-3)相连的计算机(1-5)，其特征在于，所述的相位台阶标定板(1-2)的台阶区域形状为一个已知底角度数的多边形，其中，该多边形沿剪切方向上的两个底角分别为α、β，且α+β≠180°；所述的波前发生装置(1-1)产生平面波前，依次经所述的相位台阶标定板(1-2)和所述的待标定的波前传感器(1-3)后，发生剪切干涉并将采集的干涉图传输至计算机(1-5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置，包括波前发生装置(1-1)、相位台阶标定板(1-2)、与待标定的波前传感器(1-3)相连的计算机(1-5)，其特征在于，所述的相位台阶标定板(1-2)的台阶区域形状为一个已知底角度数的多边形，其中，该多边形沿剪切方向上的两个底角分别为α、β，且α+β≠180°；所述的波前发生装置(1-1)产生平面波前，依次经所述的相位台阶标定板(1-2)和所述的待标定的波前传感器(1-3)后，发生剪切干涉并将采集的干涉图传输至计算机(1-5)。


2.根据权利要求1所述的横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置，其特征在于，所述的相位台阶标定板(1-2)采用刻蚀或拼接方式加工而成，使入射波前透射经过该相位台阶标定板(1-2)后，将携带相应形状与振幅大小的相位信息。


3.根据权利要求1所述的横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置，其特征在于，所述的波前发生装置(1-1)出射的平面波前是由点光源经准直和扩束后所生成的。


4.根据权利要求1所述的横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置，其特征在于，所述的待标定的波前传感器(1-3)由分光元件(1-3-1)与光电探测器(1-3-2)组成；其中，入射波前经分光...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭常哲，唐锋，王向朝，冯鹏，李鹏，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31