波分式多波长调频连续波激光干涉仪及其测量方法技术

本发明专利技术为一种波分式多波长调频连续波激光干涉仪及其测量方法，解决了现有技术中存在的无法进行高精度绝对测量问题，其结构简单、响应速度快、测量精度高、测量量程大。本发明专利技术包括两个或两个以上不同中心波长的光纤调频连续波激光干涉子系统、每个子系统包括一个半导体激光器、一个光纤环行器和一个光电探测器，其中半导体激光器的输出尾纤与光纤环行器的输入尾纤连接，光纤环行器的反向输出尾纤与光电探测器的输入尾纤连接；光纤环行器的输出尾纤与光纤波分器的输入尾纤连接，光纤波分器的输出尾纤与光纤准直器的输入尾纤连接，光纤准直器后方依次设置有部分反射镜和全反射镜，部分反射镜和全反射镜构成干涉腔。

【技术实现步骤摘要】
波分式多波长调频连续波激光干涉仪及其测量方法
：本专利技术属于光学调频连续波干涉测量
，涉及一种激光干涉仪，尤其是涉及一种波分式多波长调频连续波激光干涉仪及其测量方法。
技术介绍
：光学调频连续波(FMCW)干涉是一项新的精密测量技术。目前这种光学干涉技术使用的测量装置由一个光频率周期性连续线性调制的激光光源、一个光纤环行器、一个光纤准直器和一个光电探测器构成，当干涉仪中的信号光和参考光相遇干涉时，产生一个动态拍频信号，其频率和初位相都与信号光和参考光之间的光程差有关。检测其拍频频率可以得出光程差的绝对值，但是分辨率较低，一般为几十微米。检测初相位也可以得出光程差，而且分辨率很高，但是由于干涉信号是初相位的周期性函数，一次测量只能得到初相位不足于一个周期的小数部分。虽然在一定条件下，例如当光程差缓慢连续变化时，不间断连续测量可以得到初相位变化量的整周期数和尾数，但是一旦光程差变化速度过快或发生突变，或者在测量过程有意或无意发生中断，初相位变化量的整周期数就会丢失，导致测量失败。
技术实现思路
：本专利技术的目的在于提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波分式多波长调频连续波激光干涉仪，其特征在于：包括两个或两个以上不同中心波长的光纤调频连续波激光干涉子系统、每个子系统包括一个半导体激光器、一个光纤环行器和一个光电探测器，其中半导体激光器的输出尾纤与光纤环行器的输入尾纤连接，光纤环行器的反向输出尾纤与光电探测器的输入尾纤连接；光纤环行器的输出尾纤与光纤波分器(7)的输入尾纤连接，光纤波分器(7)的输出尾纤与光纤准直器(8)的输入尾纤连接，光纤准直器后方依次设置有部分反射镜(9)和全反射镜(10)，部分反射镜(9)和全反射镜(10)构成干涉腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种波分式多波长调频连续波激光干涉仪，其特征在于：包括两个或两个以上不同中心波长的光纤调频连续波激光干涉子系统、每个子系统包括一个半导体激光器、一个光纤环行器和一个光电探测器，其中半导体激光器的输出尾纤与光纤环行器的输入尾纤连接，光纤环行器的反向输出尾纤与光电探测器的输入尾纤连接；光纤环行器的输出尾纤与光纤波分器(7)的输入尾纤连接，光纤波分器(7)的输出尾纤与光纤准直器(8)的输入尾纤连接，光纤准直器后方依次设置有部分反射镜(9)和全反射镜(10)，部分反射镜(9)和全反射镜(10)构成干涉腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑刚，白浪，孙彬，张雄星，高明，刘卫国，盛启明，韩园，郭媛，聂梦笛，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61