一种偏振非制冷红外探测器及其制备方法技术

本申请公开了偏振非制冷红外探测器，包括多个像元，每个像元包括由下向上设置的基底层、具有支撑与电连接孔的第一悬空层、具有支撑连接孔的第二悬空层；第一悬空层包括具有第一通孔的第一支撑层、第一电极层、热敏层、热敏保护层，第一通孔位于支撑与电连接孔的底部，以便第一电极层与基底层电连接；第二悬空层包括第二支撑层、线栅层，位于支撑连接孔处的第二支撑层与热敏保护层相连，且支撑连接孔位于支撑与电连接孔的外侧。本申请探测器中支撑连接孔位于支撑与电连接孔的外侧，无需对第一悬空层平坦化处理，且在制作第二悬空层过程中，在图形化牺牲层时刻蚀厚度也不会增加，简化制备工艺，提升性能。本申请还提供一种具有上述优点的制作方法。

【技术实现步骤摘要】
一种偏振非制冷红外探测器及其制备方法
本申请涉及红外探测器
，特别是涉及一种偏振非制冷红外探测器及其制备方法。
技术介绍
红外偏振成像是在红外强度探测基础上，通过获得每一点的偏振信息而增加信息维度的一种技术，不仅能获得目标二维空间的红外强度信息，而且能获得图像上每一点偏振信息。利用目标辐射的偏振特征能有效抑制背景杂波，提高目标与背景的对比度，增加目标物的信息量，有利于目标物的检测和识别，能够提高对温差小或热对比度低的目标物的探测识别能力。现有的偏振非制冷红外探测器包括上下两层悬空结构，每层悬空结构中都设置有支撑孔，上层悬空结构的支撑孔直接制备在下层悬空结构的支撑孔上，在实际工艺中下层悬空结构的支撑孔如果不经过特殊处理，将会是一个截面为梯形的孔洞，难以直接在上方直接制备上层悬空结构的支撑层，可以通过以下几种方式解决：第一种，在下层支撑孔中填充钨塞，从而实现平坦化，再制备上层悬空结构。该种方式填充钨塞的技术难度较大，会降低探测器的良率，并且填充之后若不够平整，会影响上层悬空结构的平整度，从而影响偏振探测性能。第二种，通过生长介质层，结本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种偏振非制冷红外探测器，其特征在于，包括多个像元，每个所述像元包括由下向上设置的基底层、具有支撑与电连接孔的第一悬空层、具有支撑连接孔的第二悬空层；/n所述第一悬空层包括具有第一通孔的第一支撑层、第一电极层、热敏层、热敏保护层，所述第一通孔位于所述支撑与电连接孔的底部，以便所述第一电极层与所述基底层电连接；/n所述第二悬空层包括第二支撑层、线栅层，位于所述支撑连接孔处的所述第二支撑层与所述热敏保护层相连，且所述支撑连接孔位于所述支撑与电连接孔的外侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种偏振非制冷红外探测器，其特征在于，包括多个像元，每个所述像元包括由下向上设置的基底层、具有支撑与电连接孔的第一悬空层、具有支撑连接孔的第二悬空层；
所述第一悬空层包括具有第一通孔的第一支撑层、第一电极层、热敏层、热敏保护层，所述第一通孔位于所述支撑与电连接孔的底部，以便所述第一电极层与所述基底层电连接；
所述第二悬空层包括第二支撑层、线栅层，位于所述支撑连接孔处的所述第二支撑层与所述热敏保护层相连，且所述支撑连接孔位于所述支撑与电连接孔的外侧。


2.如权利要求1所述的偏振非制冷红外探测器，其特征在于，所述线栅层包括多个线栅结构，每个所述线栅结构包括多个金属线栅，每个金属线栅宽度之间具有第一预设关系，且相邻所述金属线栅间的距离相等，所述第一预设关系为下述任一种：
所述金属线栅宽度相等、所述金属线栅宽度按等差数列递增、所述金属线栅宽度按等比数列递增、所述金属线栅宽度按正弦函数变化。


3.如权利要求1所述的偏振非制冷红外探测器，其特征在于，所述线栅层包括多个线栅结构，每个所述线栅结构包括多个金属线栅，每个金属线栅宽度相等，相邻所述金属线栅间的距离具有第二预设关系，所述第二预设关系为下述任一种：
所述距离按等差数列递增、所述距离按等比数列递增、所述距离按正弦函数变化。


4.如权利要求1所述的偏振非制冷红外探测器，其特征在于，所述线栅层包括四个呈矩阵排列的子线栅区，每个所述子线栅区包括呈预设分布形状的多个金属线栅，所述预设分布形状的种类至少为两种，且相邻所述子线栅区的所述预设分布形状不同。


5.如权利要求1至4任一项所述的偏振非制冷红外探测器，其特征在于，相邻所述像元的所述第二悬空层之间彼此相连。


6.如权利要求5所述的偏振非制冷红外探测器，其特征在于，还包括：
位于所述第二支撑层...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君宇，易飞，王鹏，甘先锋，董珊，陈文礼，王宏臣，
申请(专利权)人：烟台睿创微纳技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37