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本申请公开了偏振非制冷红外探测器,包括多个像元,每个像元包括由下向上设置的基底层、具有支撑与电连接孔的第一悬空层、具有支撑连接孔的第二悬空层;第一悬空层包括具有第一通孔的第一支撑层、第一电极层、热敏层、热敏保护层,第一通孔位于支撑与电连接孔...该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。
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