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本发明涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括准直光源、带有已知底角度数的多边形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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