一种电子级TFT显影液的制备工艺制造技术

本发明专利技术属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺。该电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级TFT显影液的制备工艺
本专利技术属于薄膜晶体管加工
，具体地说，涉及一种电子级TFT显影液的制备工艺。
技术介绍
在薄膜晶体管加工过程中，为了获得更加精细的图形，一般会用到光刻胶在基材上形成薄膜，薄膜经曝光后，再以碱性显影液显像以便于除去不需要的薄膜部分，从而获得所需图形。现有技术中的显影液多存在着显像不清晰，分散不稳定等缺点。
技术实现思路
针对现有技术中上述的不足，本专利技术的目的在于提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺，由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。为了达到上述目的，本专利技术采用的解决方案是：一种电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。本专利技术提供的一种电子级TFT显影液的制备工艺的有益效果是：本专利技术提供的该种电子级TFT显影本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：包括：/n(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；/n(2)接着向所述溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；/n(3)接着依次向所述混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；/n(4)过滤即得所述显影液。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：包括：
(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；
(2)接着向所述溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；
(3)接着依次向所述混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；
(4)过滤即得所述显影液。


2.根据权利要求1所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：按重量份数计，所述碳酸钠晶体为5-7份，所述碳酸氢钠晶体为2-4份，所述表面活性剂为28-32份，所述第一超纯水和所述第二超纯水的总和为160-162份。


3.根据权利要求2所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：按重量份数计，所述碳酸钠晶体为6份，所述碳酸氢钠晶体为3份，所述表面活性剂为30份，所述第一超纯水和所述第二超纯水的总和为161份。


4.根据权利要求2或3所述的电子级TFT显影液的制备工艺，其特征在于：所述第一超纯水与所述超纯水的质量比为2:1。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈重佑，陈少骏，邱建铭，吴俊贤，骆彦成，吴全贵，任建业，林德荣，刘奕丰，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35