下载一种电子级TFT显影液的制备工艺的技术资料

文档序号:26503284

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本发明属于薄膜晶体管加工技术领域,提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺。该电子级TFT显影液的制备工艺,包括:(1)将第一超纯水溶解于溶解槽;(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体,搅拌后送至混配槽;(3)接着依次向混配槽中加入...
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