【技术实现步骤摘要】
一种微型器件转移头及其制造方法
本专利技术属于微型发光二极管领域，具体涉及一种微型器件转移头及其制造方法。
技术介绍
MicroLED作为无机发光材料具有发光效率高、寿命长和可靠性高等优点并且被广泛关注，为了制作全彩的显示器需要把红、绿、蓝三种颜色的MicroLED从各自的生长基板上分别进行拾取，然后放置在驱动背板上。对MicroLED进行拾取时需要借助外力，通常使用的外力有静电吸附力、粘性吸附力、磁性吸附力以及真空吸附力等。当利用粘性吸附力时，可以在转移头上使用粘性的材料如PDMS(polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷，一种具有粘性的有机材料，液态时的聚二甲基硅氧烷为一黏稠液体，PDMS是由主剂与硬化剂以一定的质量比混合得到，主剂与硬化剂简称AB剂)。PDMS材料缓冲能力好，无残留，但由于弹性大而且不易做的很薄，进行转移时容易致使MicroLED偏移，且该材料不能直接进行黄光制程，很难对其图案化，所以较难使用PDMS材料作为转移头进行选择性拾取MicroLED。此外，传统的带胶转移头使用...
【技术保护点】
1.一种微型器件转移头的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：在暂态基板上涂布一层牺牲层；/nS2：在牺牲层上方涂布一层光阻，对光阻进行图案化形成阵列排布的光阻柱；/nS3：在光阻柱上方旋涂一层有机材料PDMS，烘烤后形成PDMS层，PDMS层的高度不小于光阻柱的高度；/nS4：先将PDMS层与衬底基板的粘附层贴合，再剥离牺牲层；/nS5：对光阻柱刻蚀一定的深度，形成高于光阻柱且呈阵列排布的多个PDMS柱。/n
【技术特征摘要】
1.一种微型器件转移头的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：在暂态基板上涂布一层牺牲层；
S2：在牺牲层上方涂布一层光阻，对光阻进行图案化形成阵列排布的光阻柱；
S3：在光阻柱上方旋涂一层有机材料PDMS，烘烤后形成PDMS层，PDMS层的高度不小于光阻柱的高度；
S4：先将PDMS层与衬底基板的粘附层贴合，再剥离牺牲层；
S5：对光阻柱刻蚀一定的深度，形成高于光阻柱且呈阵列排布的多个PDMS柱。
2.根据权利要求1所述的微型器件转移头的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的制作材料为UV胶或者热解胶。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：张有为，王俊星，朱充沛，高威，
申请(专利权)人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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