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本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法，涉及微型发光二极管领域，本发明的微型器件转移头包括：衬底基板、位于衬底基板上的粘附层、位于粘附层上且呈阵列排布的多个PDMS柱以及位于相邻PDMS柱之间的光阻柱，其中，PDMS柱的高度大于光阻柱的高...
该专利属于南京中电熊猫液晶显示科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中电熊猫液晶显示科技有限公司授权不得商用。

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