使用带电粒子显微镜检查样品的方法技术

本发明专利技术涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括提供带电粒子束和样品的步骤，以及用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分的步骤。第一检测器用于获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射。根据该方法，提供了数据类元素集，其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联。处理测量的检测器信号，并且处理包括：将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给多个采样位置中的每一个。最后，可以以数据表示样品信息值和对应的概率。

【技术实现步骤摘要】
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
本专利技术涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括以下步骤：提供带电粒子束和样品；在所述样品的至少一部分上扫描所述带电粒子束；以及使用第一检测器，获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处样品的第一类发射。
技术介绍
带电粒子显微术是一种众所周知的并且越来越重要的对微观物体进行成像的技术，特别是电子显微镜的形式。从历史角度看，电子显微镜的基本属已经进化为许多众所周知的器具种类，如透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）和扫描透射式电子显微镜（STEM），并且也进化为各种各样的亚种，例如，所谓的“双束”设备（例如，FIB-SEM），其另外采用“加工”聚焦离子束（FIB），允许支持活动，例如离子束铣削或离子束诱导沉积（IBID）。技术人员熟悉不同种类的带电粒子显微镜。扫描电子束对试样的辐照会以二次电子、背散射电子、X射线和阴极射线致发光（红外的、可见的和/或紫外的光子）的形式从试样析出“辅助”辐射的放射物。可检测该放射辐射的一个或多个成分并用于样品分析。通常，在SEM中，由固态本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括：/n-提供带电粒子束以及样品；/n-用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分；/n-使用第一检测器获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射；/n-提供数据类元素集，其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联；/n-处理所述测量的检测器信号，其中所述处理包括，对于多个采样位置中的每一个：/n○将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；/n○确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及/n○将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给所述多个采样位置中的每一个；...

【技术特征摘要】
20190506 EP 19172810.41.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括：
-提供带电粒子束以及样品；
-用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分；
-使用第一检测器获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射；
-提供数据类元素集，其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联；
-处理所述测量的检测器信号，其中所述处理包括，对于多个采样位置中的每一个：
○将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；
○确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及
○将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给所述多个采样位置中的每一个；以及
-以数据表示具有对应样品信息值和对应概率的所述多个采样位置。


2.根据权利要求1所述的方法，其中至少部分地预定义所述数据类元素集。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其中借助算法至少部分地确定所述数据类元素集。


4.根据权利要求1-3所述的方法，其中借助处理单元至少部分地确定所述数据类元素集。


5.根据权利要求1-4所述的方法，其中当测量的检测器信号被分类为至少两个数据类元素时，使用贝叶斯算子。


6.根据权利要求1-5所述的方法，其中以数据表示包括提供包含所述数据的图像的步骤。


7.根据权利要求6所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：J克卢萨切克，T图玛，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国;US