一种X射线CT成像装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种X射线CT成像装置，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；X射线管可转动连接于X射线管回转座上；局部高精度探测器可转动连接于局部高精度探测器回转座上；椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，X射线管设置在椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，电路板样品、局部高精度探测器依次设置于X射线管发出的射线经椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。本实用新型专利技术解决了现有技术中难以对大面积集成电路板进行局部高精度扫描的难题，能够对电路板关键部件的散热结构、芯片焊接等情况进行CT成像，极大地提高了大面积集成电路板的质量检测效果。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线CT成像装置
本技术涉及CT成像领域，具体涉及一种X射线CT成像装置。
技术介绍
为了研究集成电路板的散热结构、芯片焊接情况，通常需要利用X射线技术来对电路板的关键部位进行CT成像。但是，对于电脑、显示屏、大型服务器等的大面积电路板，尺寸通常较大，现有的工业CT无法完成高精度的扫描，主要原因在于：大型电路板宽度或高度较大，沿电路板方向，低功率高精度工业CT无法穿透电路板；大功率工业CT则可以穿透，但又会面临精度不够的问题。目前，尚无相关的装置产品可解决该问题。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种X射线CT成像装置，可应用于大面积集成电路板上，通过聚焦X射线并采用高精度小型探测器来解决局部高精度扫描的问题。本技术采用以下的技术方案来实现：一种X射线CT成像装置，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线CT成像装置，其特征在于，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，并且，所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。/n

【技术特征摘要】
1.一种X射线CT成像装置，其特征在于，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，并且，所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。


2.如权利要求1所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括主探测器；所述主探测器设置在所述电路板样品相对于所述X射线管的另一侧上，所述电路板样品位于所述X射线管和所述主探测器的连线方向上；所述局部高精度探测器回转座固定连接在所述主探测器的侧部。


3.如权利要求2所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括回转平台；所述电路板样品可转动连接于所述回转平台上。


4.如权利要求3所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括X-Y移动平台，所述X-Y移动平台包括相互垂直设置的第一滑轨组件和第二滑轨组件；所述第一滑轨组件包括第一滑轨、第一滑块以及用于驱动所述第一滑块的第一电机；所述第二滑轨组件包括第二滑轨、第二滑块以及用于驱动第二滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：贡志锋，马艳玲，高建波，张书彦，詹霞，王晨，张鹏，魏海冰，
申请(专利权)人：东莞材料基因高等理工研究院，广东书彦材料基因创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44