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本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括提供带电粒子束和样品的步骤，以及用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分的步骤。第一检测器用于获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射。根据该方法，提供了数...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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