一种过滤装置及抽真空系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及单晶制造技术领域，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。一种过滤装置包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。本发明专利技术设置的除尘袋的过滤效果佳，其次通过清灰机构碰撞拍打过滤袋，能有效除去拉晶过程中产生的挥发物，使得拉晶中使用干泵成为可能，而对于拉晶中使用油泵的情况，能降低真空泵油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶炉连续运行时间。

【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置及抽真空系统
本专利技术涉及单晶制造
，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。
技术介绍
直拉法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾环节，最后获得单晶棒。在拉晶的同时，往炉内引入保护气体、并设置真空泵进行抽吸。借助保护气体对晶体生长环境的吹扫作用，带走挥发物及氧化物等杂质，确保拉晶过程稳定及成品品质。携带挥发物及氧化物等杂质的保护气体，即为拉晶尾气，一般先流经过滤装置除去杂质再进入真空泵。如此，能缓解杂质对真空泵抽吸效率的影响。随着光伏行业下游对于硅片低成本的需求日益加剧，拉晶环节的一种降成本思路是通过二次加料、连续加料等，缩短停炉清理工序所占比例、增加拉晶过程等径环节的产出。上述思路对拉晶工艺提出了更长时间运行的需求。现有的过滤装置仅利用单层滤网对拉晶尾气中的杂质进行拦截，因过滤能力有限导致进入真空泵的拉晶尾气洁净度不足。为了保持炉压、确保拉晶过程稳定，需要频繁地清理维护过滤装置或真空泵，难以适应单炉长时间运行的拉晶工艺需求。同时，真空泵中的干泵由于耗能低、且能提供更好的抽吸效果，具有取代现有技术中广泛使用的油泵的潜力。如若前道工序过滤能力有限，未彻底过滤掉的挥发物杂质易造成干泵堵塞。因此，过滤效果还是影响真空泵设备优化升级的瓶颈。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种过滤装置以解决上述
技术介绍
中提出的问题。第一方面，本专利技术提供的技术方案：一种过滤袋过滤装置，包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。优选地，至少一个所述过滤袋沿所述罐体的高度方向设置，所述拍打板沿所述罐体高度方向的长度至少为所述过滤袋的长度的50％，所述拍打板材料的弯曲刚度的工况转角θ大小为大于0°，且小于或等于45°。优选地，所述拍打板沿垂直于所述罐体高度的方向的宽度，至少覆盖与之对应的所述过滤袋的宽度的30％。优选地，所述过滤袋为多个，所述拍打板为至少一个，每个所述拍打板的转动范围内均对应设置多个所述过滤袋。优选地，与所述拍打板对应设置的多个所述过滤袋，相对于所述拍打板等间隔分布。优选地，所述清灰机构还包括与所述拍打板对应连接的至少一个转动轴，所述转动轴带动与之对应的所述拍打板转动。优选地，所述清灰机构还包括机械连接的链轮和链条，所述链轮与所述转动轴机械连接，所述链条首尾相接、连接于多个所述链轮之间。优选地，所述多个转动轴中，一个所述转动轴位于中心，其余所述转动轴围绕中心的所述转动轴设置，其余所述转动轴相对于位于中心的所述转动轴等角度分布。第二方面，本专利技术提供的技术方案：一种抽真空系统，用于对单晶炉抽真空，包括抽真空装置和第一方面中任一所述的过滤装置，所述过滤装置连接于所述单晶炉与所述抽真空装置之间。优选地，所述抽真空装置为油泵或干泵。本专利技术设置的除尘袋的过滤效果佳，其次通过清灰机构碰撞拍打过滤袋，能有效除去拉晶过程中产生的挥发物，使得拉晶中使用干泵成为可能，而对于拉晶中使用油泵的情况，能降低真空泵油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶炉连续运行时间。同时降低频繁更换真空泵油、干泵齿轮等导致的设备、时间、人工成本。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1是本实施例的过滤装置的示意图；图2是图1中I处的局部放大示意图；图3是本实施例的过滤装置的过滤袋的示意图；图4是本实施例的过滤装置的过滤单元固定板的示意图；图5是本实施例的过滤装置的六个过滤袋的圆心位于一圆形轮廓分布示意图；图6是本实施例的过滤装置的三个过滤袋的圆心呈正三角形分布示意图；图7是本实施例的过滤装置的三个过滤袋的圆心位于一扇形的弧分布示意图；图8是本实施例的过滤装置的清灰机构的示意图；图9是本实施例的过滤装置的清灰机构联动示意图；图10是本实施例的过滤装置的一种优选清灰机构联动示意图。图中：1、清灰机构，11、转动轴，111、第一转动轴，112、第二转动轴，113、第三转动轴，114、第四转动轴，115、第五转动轴，116、第六转动轴，117、第七转动轴，12、连接架，1201、第一连接架，12011、安装孔，1202、第二连接架，12021、开槽，121、第一连接架，122、第二连接架，123、第三连接架，124、第四连接架，125、第五连接架，126、第六连接架，127、第七连接架，13、拍打板，131、第一拍打板，132、第二拍打板，133、第三拍打板，134、第四拍打板，135、第五拍打板，136、第六拍打板，137、第七拍打板；141、第一链轮，142、第二链轮，143、第三链轮，144、第四链轮，145、第五链轮，146、第六链轮，147、第七链轮，15、链条；2、过滤袋，3、过滤单元固定板，31、过滤袋安装孔，32、通孔；4、罐体，5、动力系统，6、磁流体密封机构。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作可选的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；也可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外还需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。实施例一参考图1，一种过滤装置主要包括清灰机构1、过滤单元、过滤单元固定板3、罐体4和动力系统5。清灰机构1、过滤单元和过滤单元固定板3设置于罐体4内部，过滤单元设置于过滤单元固定板3上。参考图3，过滤单元包括至少一个过滤袋2，过滤袋2为圆筒状，用于过滤单晶炉排出的粉尘。优选地，PTFE覆膜除尘布袋能够保证通气量的同时，很好的过滤拉晶尾气中的挥发物，过滤效率≥99.99％。参考图1-2，清灰机构1设置有拍打板13，拍打板13转动的范围内设置有过滤袋2，拍打板13与过滤袋2碰撞，过滤袋2的袋体发生变形。拍打板13与过滤袋2充分作用，清理拉晶尾气中的杂质比现有技术中仅利用单层滤网的效果好，延长单晶炉的工作时间，避免频繁停炉清理杂质、浪费大量人力和财力，满足单炉长时间运行的拉晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。/n

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。


2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，至少一个所述过滤袋沿所述罐体的高度方向设置，所述拍打板沿所述罐体高度方向的长度至少为所述过滤袋的长度的50％，
所述拍打板材料的弯曲刚度的工况转角θ大小为大于0°，且小于或等于45°。


3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述拍打板沿垂直于所述罐体高度的方向的宽度，至少覆盖与之对应的所述过滤袋的宽度的30％。


4.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤袋为多个，所述拍打板为至少一个，每个所述拍打板的转动范围内均对应设置多个所述过滤袋。


5.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，与所述拍打板对应设置的多个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马守林，黄学宁，陈立军，赵常福，李学东，兰晓南，陆锋，
申请(专利权)人：宁夏隆基硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：宁夏;64