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本发明涉及单晶制造技术领域，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。一种过滤装置包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤...
该专利属于宁夏隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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