【技术实现步骤摘要】
本技术与一种电子工业用晶片制造技术中薄膜针测装置有关，尤指一种薄膜压平结构装置。一般电子工业用的晶片于生产时均需经逐一测试其每一接脚的功能是否符合需求，方可正式产制完成，于测试时主要是令数个晶片同时置于一薄膜端，在使薄膜固定后即可令专用机具藉由细微的探针分别逐一测试其每一功能，惟此一方式于工作时因其探针极细微，于固定薄膜时若稍有不慎极易令讯号漏失、噪音大，且测试点及测试距离、摆置位置均有限制，而令其维修、装置皆感困难且徒增成本。有鉴于上述现有装置的缺失，本创作人乃竭尽心智，独创出一种深具实用性的薄膜压平结构装置，其主要乃设置一简易的支撑座体，藉由弹性调整结构及固定装置的配合而可轻易固定晶圆薄膜，以更方便测试。本技术的创作目的在于提供一种有效地增加测试点及距离并可任意摆置的薄膜压平结构装置，以增加实用性。本技术的另一目的是在于提供一种测试速度更高、接触效率更稳定且讯号递蔽良好，低耦合、低噪音的薄膜压平结构装置，藉以取得更佳的工作效率。本技术的再一目的乃在于提供一种维修简单、成本低廉并可多次重复使用、延长使用寿命的薄膜压平结构装置。本技术的目的是这样实现的一种薄膜压平结构装置，其特征在于是于一平台座内端设置一平台座，于平台座内部形成有一略下凹的滑槽，于滑槽中设置数个均匀分布的凹孔，于凹孔内端再设置一弹簧，于平台座的滑槽中再设置一顶端呈精准平面的薄膜平板，于薄膜平板底端是设置对应平台座凹孔的凹入孔，且于薄膜平板上方四角端再分别设置凸缘，于平台座顶端再盖设一固定块，于固定块中间端则设置成中空状，并令中空的内缘滑套于薄膜平板的凸缘端，于上方面端处则再设置数凹缘...
【技术保护点】
一种薄膜压平结构装置，其特征在于：是于一平台座内端设置一平台座，于平台座内部形成有一略下凹的滑槽，于滑槽中设置数个均匀分布的凹孔，于凹孔内端再设置一弹簧，于平台座的滑槽中再设置一顶端呈精准平面的薄膜平板，于薄膜平板底端是设置对应平台座凹孔的凹入孔，且于薄膜平板上方四角端再分别设置凸缘，于平台座顶端再盖设一固定块，于固定块中间端则设置成中空状，并令中空的内缘滑套于薄膜平板的凸缘端，于上方面端处则再设置数凹缘，且依需求设置数个固定螺丝。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑秋雄，
申请(专利权)人：环国科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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