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本实用新型是有关于一种晶圆薄膜测试装置的改良，尤指一种“薄膜压平结构装置”，其主要是于一平台座内端设置数个具有独特排列的弹性调整结构，于弹性调整结构上端再配合设置一薄膜平板，且于薄膜平板外端设置一固定块，藉以可轻易地固定晶圆测试薄膜，并令该...
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