【技术实现步骤摘要】
一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计
本专利技术属于微机械电子(MEMS)数字式加速度计
，具体涉及一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计。
技术介绍
微谐振式加速度计不需要模数转换模块，将加速度转换为频率输出，具有可靠性好、精度高、响应快等优点，在航空航天、惯性导航、智能装备制造等领域得到了广泛的应用。微谐振式加速度计一般由弹簧-质量系统和微谐振器组成，加速度通过弹簧-质量系统将加速度作用于微谐振器，引起微谐振器固有频率发生变化，通过外围测试系统测量频率变化值，可以解算出加速度的数值，实现数字化输出。微谐振器一般采用双端固支石英音叉，弹簧-质量系统采用硅基底或金属基底，由于微谐振器和弹簧-质量系统采用异质材料，当环境温度变化时，热应力会对加速度计的频率输出造成不容忽视的误差。一般采用差动布置方式来降低热应力造成的误差，差动方式指的是采用两个石英音叉以特殊方式布置，当加速度作用时，一个石英音叉受拉，谐振频率变大，另一个石英音叉受压，谐振频率减小，将两个石英音叉的频率输出之差作为加速度计的输出，...
【技术保护点】
1.一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，金属基(1)包括金属基座(3)、第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)、质量块(5)和金属外框(6)，质量块(5)通过第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)与金属基座(3)相连，金属基座(3)的左右两侧及前侧与金属外框(6)连接；第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的结构相同，贴装于金属基(1)的正面与反面，以差动方式布置；/n所述的第一挠性铰链(4-a)和第二挠性铰链(4-b)在敏感方向...
【技术特征摘要】
1.一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，金属基(1)包括金属基座(3)、第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)、质量块(5)和金属外框(6)，质量块(5)通过第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)与金属基座(3)相连，金属基座(3)的左右两侧及前侧与金属外框(6)连接；第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的结构相同，贴装于金属基(1)的正面与反面，以差动方式布置；
所述的第一挠性铰链(4-a)和第二挠性铰链(4-b)在敏感方向SA上具有弹性特性。
2.根据权利要求1所述的一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的金属基(1)在正面加工有第一凸台(7-a)、第二凸台(7-b)；金属基(1)在反面加工有第三凸台(7-c)、第四凸台(7-d)；第一凸台(7-a)和第二凸台(7-b)用于固定第一双端固支石英音叉(2-a),第三凸台(7-c)和第四凸台(7-d)用于固定第二双端固支石英音叉(2-b)。
3.根据权利要求2所述的一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一凸台(7-a)上加工有第一半圆形溢胶槽(8-a)，第二凸台(7-b)上加工有第二半圆形溢胶槽(8-b)，第三凸台(7-c)上加工有第三半圆形溢胶槽(8-c)，第四凸台(7-d)上加工有第四半圆形溢胶槽(8-d)。
4.根据权利要求2所述的一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一凸台(7-a)两侧及前侧的金属基(1)开有第一回型溢胶槽(9-a)，第二凸台(7-b)两侧及后侧的金属基(1)开有第二回型溢胶槽(9-b)，第三凸台(7-c)两侧及前侧的金属基(1)开有第三回型溢胶槽(9-c)，第四凸台(7-d)两侧及后侧的金属基(1)开有第四回型溢胶槽(9-d)。
5.根据权利要求2所述的一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一凸台(7-a)后侧的金属基(1)开有第一音叉叉齿活动槽(10-a)，第二凸台(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：李村，黄振秋，赵玉龙，韩超，李波，蒋庄德，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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