一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计制造技术

一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计，包括金属基和两个双端固支石英音叉，金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座，质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接；两个双端固支石英音叉结构相同，贴装于质量块和固定金属基座上，在同一平面内以差动方式布置；金属基采用激光切割慢走丝线切割等低应力或无应力工艺加工而成，并开有定位双端固支石英音叉的定位槽，定位槽在垂直于敏感方向SA的DA方向的中轴线重合；具有差动效果好、微装配工艺易于实施、灵敏度高、加工简单、精密弹性部件的加工精度高、加工残余应力小等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计
本专利技术属于微机械电子(MEMS)数字式加速度计
，具体涉及一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计。
技术介绍
谐振加速度计将加速度信号转换为频率信号，实现了加速度计的数字化输出，具有精度高、可靠性好、抗干扰能力强等优点，在航空航天、军事国防、装备制造等领域有着广泛的应用。这类加速度计由弹簧-质量系统和敏感元件组成，弹簧-质量系统大多采用金属基，敏感元件一般采用双端固支石英音叉；工作原理是敏感元件在相应激振电路的影响下处于谐振状态，加速度通过弹簧-质量系统的作用改变敏感原件的振动频率，通过特定的电路将频率信号转化为电信号，实现加速度的数字化输出。为了降低热应力对加速度计的影响，这类加速度计大多采用两根双端固支石英音叉以差动方式布置。差动方式是指采用特殊的布置方式，当加速度作用时，一根石英音叉受拉导致谐振频率增加，另一根石英音叉受压导致谐振频率减小，将两根音叉的频率之差作为加速度信号，不仅可以提高灵敏度，还可以降低热应力对加速度计的影响。但是由于差动布置方式的差异，这类传感器的设计大多存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计，包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，其特征在于：金属基(1)包括质量块(3)、第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)和固定金属基座(5)，质量块(3)通过第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)与固定金属基座(5)连接；第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)结构相同，贴装于质量块(3)和固定金属基座(5)上，在同一平面内以差动方式布置；/n所述的金属基(1)采用低应力或无应力工艺加工而成，并开有定位第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的第一...

【技术特征摘要】
1.一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计，包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，其特征在于：金属基(1)包括质量块(3)、第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)和固定金属基座(5)，质量块(3)通过第一挠性铰链(4-a)、第二挠性铰链(4-b)与固定金属基座(5)连接；第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)结构相同，贴装于质量块(3)和固定金属基座(5)上，在同一平面内以差动方式布置；
所述的金属基(1)采用低应力或无应力工艺加工而成，并开有定位第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的第一定位槽(6-a)、第二定位槽(6-b)、第三定位槽(6-c)，第一双端固支石英音叉(2-a)的第一定位基座(9-a)和第二定位基座(9-b)分别定位于第一定位槽(6-a)、第三定位槽(6-c)的一端，第二双端固支石英音叉(2-b)的第一定位基座(9-a)和第二定位基座(9-b)分别定位于第二定位槽(6-b)、第三定位槽(6-c)的另一端，第一定位槽(6-a)、第二定位槽(6-b)、第三定位槽(6-c)在垂直于敏感方向SA的DA方向的中轴线重合。


2.根据权利要求1所述的一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一挠性铰链(4-a)和第二挠性铰链(4-b)结构相同，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：李村，赵玉龙，黄振秋，李波，韩超，白冰，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61