一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计制造技术

一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基和两个双端固支石英音叉，金属基包括质量块、挠性铰链和固定金属基座，质量块通过挠性铰链和固定金属基座连接，挠性铰链位于质量块和固定金属基座的中部；两个双端固支石英音叉结构相同，贴装于金属基和固定金属基座的侧面，以差动方式布置；本发明专利技术能够降低封装应力和热应力对石英音叉的影响，提高精密弹性部件的加工精度和加速度计精度，具有灵敏度高、尺寸小等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计
本专利技术属于微机械电子(MEMS)数字式加速度计
，具体涉及一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计。
技术介绍
以双端固支石英音叉为敏感元件的谐振加速度计具有精度高、易激励、灵敏度高、数字化输出等优点，一般采用两根结构相同的双端固支石英音叉以差动方式布置，能够消除热应力对加速度计输出的影响。此类加速度计能够满足航空航天惯性导航与制导、武器装备、智能制造等领域的应用需求，未来的发展前景十分广阔。这类谐振加速度计按照结构特征可以分为一体式和集成式。一体式加速度计将弹簧-质量系统和双端固支石英音叉设计为一个整体结构，均为石英材料，采用石英微加工工艺进行一体化制造，这种结构存在加工难度大、成本高、灵敏度偏低等问题。集成式加速度计将弹簧-质量系统和石英音叉分开制造，采用微装配工艺集成，弹簧-质量系统一般采用金属基，具有可靠性高、成本低、灵敏度高等优点，但是采用传统机械加工工艺无法保证复杂金属基结构的加工精度，存在加工残余应力、微小精密结构的加工变形等问题；并且集成式传感器一般尺寸较大，难以满本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，其特征在于：金属基(1)包括质量块(3)、挠性铰链(4)和固定金属基座(5)，质量块(3)通过挠性铰链(4)和固定金属基座(5)连接，挠性铰链(4)位于质量块(3)和固定金属基座(5)的中部；第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的结构相同，贴装于金属基(1)和固定金属基座(5)的侧面，以差动方式布置。/n

【技术特征摘要】
1.一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，其特征在于：金属基(1)包括质量块(3)、挠性铰链(4)和固定金属基座(5)，质量块(3)通过挠性铰链(4)和固定金属基座(5)连接，挠性铰链(4)位于质量块(3)和固定金属基座(5)的中部；第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的结构相同，贴装于金属基(1)和固定金属基座(5)的侧面，以差动方式布置。


2.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的金属基(1)由无应力或者低应力工艺加工而成。


3.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的挠性铰链(4)在敏感方向SA上具有弹性特性。


4.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的质量块(3)在两侧设有第一凸台(6-a)、第二凸台(6-b)，第一凸台(6-a)、第二凸台(6-b)用于固定第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)的第一固定基座(11-a)。


5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉龙，黄振秋，李村，李波，韩超，白冰，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61