一种声表面波加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种声表面波加速度传感器，在叉指换能器和第一反射栅间设置第一凹槽，在叉指换能器和第二反射栅间设置第二凹槽。第一凹槽内设置第一弹性材料和第一质量块；第二凹槽内设置第二弹性材料和第二质量块。测量加速度时，第一质量块挤压第一弹性材料，并更多地深入到压电基底内；第二质量块也挤压第二弹性材料，也并更多地深入到压电基底内，改变压电基底内的声表面波共振频率，通过探测该声表面波共振频率实现加速度测量。由于声表面波对压电基底表面附近的形貌和材料非常敏感，所以本发明专利技术具有加速度探测灵敏度高的优点，在加速度传感领域具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波加速度传感器
本专利技术涉及加速度传感领域，具体涉及一种声表面波加速度传感器。
技术介绍
加速度传感器是一种测量加速度的传感器件。在加速过程中，通过对质量块所收到的惯性力的测量获得加速度。加速度传感器在智能手机、数码设备、移动设备等方面应用广泛，是一种重要的探测设备。常见的加速度传感器有应变式加速度传感器、压阻式加速度传感器、压电式加速度传感器、电容式加速度传感器等。传统加速度传感器的探测灵敏度越来越难以满足当前精密测量的需要，探索基于不同机理的加速度传感器有利于提高加速度探测的探测灵敏度。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种声表面波加速度传感器，包括压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料、第二弹性材料、第一质量块、第二质量块，第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器置于压电基底上，叉指换能器置于第一反射栅和第二反射栅之间，在第一反射栅和叉指换能器间、压电基底上设置第一凹槽，第一弹性材料置于第一凹槽的底部，第一质量块置于第一弹性材料的顶部，在第二反射栅和叉指换能器间、压电基底上设置第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声表面波加速度传感器，其特征在于，包括：压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料、第二弹性材料、第一质量块、第二质量块，所述第一反射栅、所述第二反射栅、所述叉指换能器置于所述压电基底上，所述叉指换能器置于所述第一反射栅和所述第二反射栅之间，在所述第一反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置第一凹槽，所述第一弹性材料置于所述第一凹槽的底部，所述第一质量块置于所述第一弹性材料的顶部，在所述第二反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置第二凹槽，所述第二弹性材料置于所述第二凹槽的底部，所述第二质量块置于所述第二弹性材料的顶部。/n

【技术特征摘要】
1.一种声表面波加速度传感器，其特征在于，包括：压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料、第二弹性材料、第一质量块、第二质量块，所述第一反射栅、所述第二反射栅、所述叉指换能器置于所述压电基底上，所述叉指换能器置于所述第一反射栅和所述第二反射栅之间，在所述第一反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置第一凹槽，所述第一弹性材料置于所述第一凹槽的底部，所述第一质量块置于所述第一弹性材料的顶部，在所述第二反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置第二凹槽，所述第二弹性材料置于所述第二凹槽的底部，所述第二质量块置于所述第二弹性材料的顶部。


2.如权利要求1所述的声表面波加速度传感器，其特征在于：所述第一质量块的高度大于所述第一凹槽的深度，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：西安柯莱特信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61