【技术实现步骤摘要】
石英振梁加速度计敏感组件
本专利技术涉及加速度计
，尤其涉及一种石英振梁加速度计敏感组件。
技术介绍
以巡航导弹、远程轰炸机、潜艇、洲际导弹、高超声速飞行器为代表的新一代战略武器，对高精度、高可靠、高稳定性、低成本的小型高精度加速度计的需求极为迫切。典型指标是测量范围±50g，偏值稳定性5μg，标度因数稳定性5ppm。目前采用陀螺摆加速度计(简称PIGA)，但其复杂的结构、较大的体积和重量、维护困难等特点难以满足未来战略武器的发展需求。以振梁为原理的MEMS加速度计是当前小型高精度加速度计最重要的技术发展方向，可以覆盖战略领域的应用，是战略武器高精度惯性导航系统的首选核心器件。石英振梁加速计是通过一对精密挠性支撑束缚检测质量块做单自由度运动，在检测质量块的输入轴方向安装一对以推挽方式加载的力敏感石英振梁，当有加速度输入时，检测质量块产生力效应，并把力传递到石英梁上，使得一个石英振梁承受拉力作用频率升高，另一个石英振梁承受压力作用频率降低，这两个频率差与输入的加速度成正比，通过晶体振荡器电路检测出这两个频率值，再...
【技术保护点】
1.一种石英振梁加速度计敏感组件，其特征在于，该组件包括外框(1)、挠性支撑件(2)、隔离框(3)、外连接件(4)、内连接件(5)、支架(6)、检测质量块(7)和振梁(8)，所述隔离框(3)位于所述外框(1)内部，所述隔离框(3)一端外侧通过所述外连接件(4)与所述外框(1)内侧相连，所述隔离框(3)另一端内侧通过所述内连接件(5)与所述支架(6)相连，所述振梁(8)一端与所述检测质量块(7)相连而另一端与所述支架(6)相连，所述支架(6)的上端面与所述检测质量块(7)的下端面之间设置所述挠性支撑件(2)且所述挠性支撑件(2)对称分布于所述振梁(8)两侧，所述振梁(8)与所...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种石英振梁加速度计敏感组件，其特征在于，该组件包括外框(1)、挠性支撑件(2)、隔离框(3)、外连接件(4)、内连接件(5)、支架(6)、检测质量块(7)和振梁(8)，所述隔离框(3)位于所述外框(1)内部，所述隔离框(3)一端外侧通过所述外连接件(4)与所述外框(1)内侧相连，所述隔离框(3)另一端内侧通过所述内连接件(5)与所述支架(6)相连，所述振梁(8)一端与所述检测质量块(7)相连而另一端与所述支架(6)相连，所述支架(6)的上端面与所述检测质量块(7)的下端面之间设置所述挠性支撑件(2)且所述挠性支撑件(2)对称分布于所述振梁(8)两侧，所述振梁(8)与所述挠性支撑件(2)不共面，对称分布于所述振梁(8)两侧的所述挠性支撑件(2)共面。
技术研发人员：刘晓智，张菁华，孙刚，丁凯，苏翼，马高印，
申请(专利权)人：北京自动化控制设备研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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