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石英振梁加速度计敏感组件制造技术
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下载石英振梁加速度计敏感组件的技术资料
文档序号:23760294
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本发明涉及加速度计技术领域,公开了一种石英振梁加速度计敏感组件。该组件包括外框、挠性支撑件、隔离框、外连接件、内连接件、支架、检测质量块和振梁,隔离框位于外框内部,隔离框一端外侧通过外连接件与外框内侧相连,隔离框另一端内侧通过内连接件与支架...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。
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