【技术实现步骤摘要】
一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置
本技术涉及掩膜版领域,具体涉及一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置。
技术介绍
掩膜版又称光掩膜版、光罩(Photomask),由石英玻璃作为基板衬底,首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层,然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光,被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模母版。近年来国内显示面板产量逐年增加,并且面板厂商开始量产TFTLCD五代线,对掩膜版的需求量也越来越大。尤其是对高世代掩膜版的需求不断攀升。在高世代大尺寸掩膜版涂胶机在进行光刻胶的涂布工艺中,由于涂胶机可以同时兼顾G8.5(1220mm*1400mm*13mm)与G10.5(1620mm*1780mm*17mm)代线涂胶,因此在涂胶机上经常会换线。但由于G8.5和G10.5的尺寸不同,用于涂胶时支撑掩膜版的顶柱(顶柱Pin)的位置也不同,因此二者之间会经常切换。另一方面由于涂胶工艺对掩膜版的水平度或平坦度有很高的要求,因此对顶柱 ...
【技术保护点】
1.一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置,其特征在于,包括夹具本体(1),夹具本体(1)从上到下依次包括凹槽层(10)和贯穿层(12),凹槽层(10)为形状与顶柱Pin(7)形状相同的凹槽,贯穿层(12)为贯穿夹具本体(1)侧面的通槽,通槽内连接有力矩杆(2),力矩杆(2)的两端均穿过通槽位于夹具本体(1)外,力矩杆(2)所在直线与夹具本体(1)所在平面平行。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置,其特征在于,包括夹具本体(1),夹具本体(1)从上到下依次包括凹槽层(10)和贯穿层(12),凹槽层(10)为形状与顶柱Pin(7)形状相同的凹槽,贯穿层(12)为贯穿夹具本体(1)侧面的通槽,通槽内连接有力矩杆(2),力矩杆(2)的两端均穿过通槽位于夹具本体(1)外,力矩杆(2)所在直线与夹具本体(1)所在平面平行。
2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置,其特征在于,力矩杆(2)的一端设置有小通槽,小通槽上连接有用于防止力矩杆(2)从贯穿层(12)滑出的插销(3)。
3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置,其特征在于,夹具本体(1)的底面设置有凸起刀口(4),凸起刀口(4)用于拿取顶柱Pin孔垫块(9)。
4.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版涂胶机顶柱...
【专利技术属性】
技术研发人员:林伟,林超,
申请(专利权)人:成都路维光电有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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