一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于掩膜版的烘烤夹具，包括壳体，壳体内设置有与掩膜版尺寸匹配的通槽，通槽内设置有用于支撑掩膜版的衬台；壳体背面设置有定位槽；本实用新型专利技术还公开了一种烘烤系统，包括加载机、加热机和传送机，加热机包括加热板和布置在加热板上可伸缩的顶柱，还包括用于掩膜版的烘烤夹具，所述烘烤夹具布置在加热板上；本实用新型专利技术的烘烤系统实现了高世代涂布系统对不同尺寸的掩膜版的光阻加热功能，扩大了可生产产品种类，提高了设备的通用性，也提高了涂布加热机的稼动率和利用率，降低了生产成本、增加了效益。

【技术实现步骤摘要】
一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统
本技术涉及掩膜版制造
，尤其是一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统。
技术介绍
平板显示是电子信息产业的支柱之一，近年来各种类型平板显示器件随着生产技术的不断提高已进入到加速发展时期，而我国也成为全球面板产业的最重要生产基地。掩膜版又称光罩、光掩膜版，(英文名PhotoMask，简称Mask)，它作为平板显示制造过程中最重要的核心关键材料，在平板显示器件制造的光刻工艺中起到曝光掩蔽作用，直接决定了平板显示终端产品的品质。在掩膜版的生产制造过程中，掩膜版在光阻涂布后会有一个烘烤的环节，又称为前烘(Pre-Bake)或者软烘(Soft-Bake)，目的是用加热蒸发的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶剂，增强光阻与掩膜版之间的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同时，涂覆光阻后的掩膜版在曝光显影后也需要做显影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、残留溶剂和消除驻波效应。目前，主要采用加热板的方式进行涂布后的烘烤，即涂布好光阻的掩膜版置于带有加热系统的加热板上，通过热传导的方式进行烘烤。具体为：传送机将涂布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，包括壳体(1)，壳体(1)内设置有与掩膜版(2)尺寸匹配的通槽(11)，通槽(11)内设置有用于支撑掩膜版(2)的衬台(101)；壳体(1)的背面设置有定位槽(12)。/n

【技术特征摘要】
1.用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，包括壳体(1)，壳体(1)内设置有与掩膜版(2)尺寸匹配的通槽(11)，通槽(11)内设置有用于支撑掩膜版(2)的衬台(101)；壳体(1)的背面设置有定位槽(12)。


2.如权利要求1所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述通槽(11)为长方形，通槽(11)的宽度与掩膜版的宽度匹配，壳体(1)上设置有用于限制掩膜版(2)在衬台(101)上滑动的限位机构(13)。


3.如权利要求2所述的一种用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述限位机构(13)包括设置在壳体(1)上的限位槽(131)和布置在限位槽(131)内的L形限位块(132)，所述限位块(132)延伸至衬台(101)上方，限位块(132)通过螺栓(133)与壳体(1)相连。


4.如权利要求3所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伟，郑宇辰，林超，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51