下载一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统的技术资料

文档序号:26290198

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本实用新型公开了一种用于掩膜版的烘烤夹具,包括壳体,壳体内设置有与掩膜版尺寸匹配的通槽,通槽内设置有用于支撑掩膜版的衬台;壳体背面设置有定位槽;本实用新型还公开了一种烘烤系统,包括加载机、加热机和传送机,加热机包括加热板和布置在加热板上可伸...
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