一种可见光通信LED阵列及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种可见光通信LED阵列及其制备方法，包括衬底；位于所述衬底上的M个间隔的LED结构，M＞2，所述LED结构包括：台面结构以及位于所述台面结构上的n电极和p电极；位于所述衬底和所述台面结构上的互连线，所述互连线连接于所述M个LED结构中其中一个LED结构的p电极和另一个LED结构的n电极之间；位于所述互连线上的绝缘保护层；以及贯穿所述绝缘保护层的焊点窗口，以暴露出部分所述互连线作为焊点，所述焊点与所述LED结构串联。本发明专利技术提供的可见光通信LED阵列可以同时提高调制带宽与光功率，从而提高可见光通信中的信号传输质量。

【技术实现步骤摘要】
一种可见光通信LED阵列及其制备方法
本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种可见光通信LED阵列及其制备方法。
技术介绍
近年来智能家居、智能手环等智能产品大行其道，新型的交互控制给传统的入网技术带来了前所未有的挑战。上述问题都需要一种既能拓宽频谱资源又可移动的接入方式，可见光通信(VisibleLightCommunication，VLC)正是在这种背景下应运而生。可见光通信利用白光LED作为光源，在照明的同时实现高速通信。相比于传统光源，LED不仅具有低能耗，环境友好，寿命可靠的优点，同时具有更高的调制带宽及相应灵敏度。利用这些特点，人们可以将调制的高频信号加载在LED上，LED则将其转化为人眼无法辨别的强度快速调制的光信号从而实现信号的传递。VLC具有安全性高、保密性好、不受电磁干扰等优点，在国防军事、信息安全、对射频敏感领域均有极大的应用前景。有研究表明，LED器件的调制带宽对可见光通信系统的调制带宽及传输速度有决定性作用，而目前所使用的商用荧光粉型白光LED的带宽一般小于3MHz，距离适用于通信的目标有较大距离，这大大限制了V本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可见光通信LED阵列，其特征在于，包括：/n衬底；/n位于所述衬底上的M个间隔的LED结构，M＞2，所述LED结构包括：台面结构以及位于所述台面结构上的n电极和p电极；/n位于所述衬底和所述台面结构上的互连线，所述互连线连接于所述M个LED结构中其中一个LED结构的p电极和另一个LED结构的n电极之间；/n位于所述互连线上的绝缘保护层；以及/n贯穿所述绝缘保护层的焊点窗口，以暴露出部分所述互连线作为焊点，所述焊点与所述LED结构串联。/n

【技术特征摘要】
1.一种可见光通信LED阵列，其特征在于，包括：
衬底；
位于所述衬底上的M个间隔的LED结构，M＞2，所述LED结构包括：台面结构以及位于所述台面结构上的n电极和p电极；
位于所述衬底和所述台面结构上的互连线，所述互连线连接于所述M个LED结构中其中一个LED结构的p电极和另一个LED结构的n电极之间；
位于所述互连线上的绝缘保护层；以及
贯穿所述绝缘保护层的焊点窗口，以暴露出部分所述互连线作为焊点，所述焊点与所述LED结构串联。


2.根据权利要求1所述的LED阵列，其特征在于，每个LED结构还包括：
第一柱状结构，以及位于所述第一柱状结构下方，并且与所述第一柱状结构相堆叠的第二柱状结构；
其中，所述第一柱状结构由上至下依次包括电流扩展层、p型层、电子阻挡层以及有源层；所述第二柱状结构由上至下依次包括n型层与缓冲层；所述第一柱状结构的顶部形成第一台面结构，所述第二柱状结构上表面的四周形成第二台面结构，所述p电极位于所述第一台面结构上，所述n电极位于所述第二台面结构上。


3.根据权利要求2所述的LED阵列，其特征在于，所述n电极为环形或扇形，所述n电极环绕所述第二台面结构设置，所述p电极为环形或扇形。


4.根据权利要求2所述的LED阵列，其特征在于，所述第一柱状结构沿垂直于所述第一柱状结构轴线方向的截面形状为圆形或开口环形。


5.根据权利要求2所述的LED阵列，其特征在于，所述第二柱状结构沿垂直于所述第二柱状结构轴线方向的截面形状为圆形，所述圆形的直径小于等于150微米，任意两个第二柱状结构之间的间距大于等于70微米且小于等于200微米。


6.根据权利要求1所述的LED阵列，其特征在于，可见光通信LED阵列还包括：
覆盖于所述衬底和所述LED结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵丽霞，林杉，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11