一种用于微电子加工用的电解液运输装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于微电子加工用的电解液运输装置，包括壳体，所述壳体内开设有运输腔，所述壳体内设置有输液通道，所述输液通道呈V型设置在运输腔的一侧，所述壳体的一侧侧壁上固定设置有两个入液口，两个所述入液口与输液通道的一端对应连通设置，所述运输腔靠近输液通道的一侧侧壁上固定设置有汇聚口，所述汇聚口与输液通道远离入液口的一端对应连通设置。本发明专利技术通过使用由四极磁场稳定的磁性液体作为液体管壁,构建了水性微流体通道；也就是说,水性微流体在不混溶的磁性液体的包围下流动，这样一来，流体与管壁的相互作用大大降低,近乎无摩擦,而且这种液体管壁可自愈,无堵塞风险,还能方便地实现阀开关控制功能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微电子加工用的电解液运输装置
本专利技术涉及微电子加工
，尤其涉及一种用于微电子加工用的电解液运输装置。
技术介绍
微电子技术是一门作用于半导体上的微小型集成电路系统的学科，微电子技术的关键在于研究集成电路的工作方式以及如何实际制造应用随着时代的不断发展，微电子加工行业也得到了不断的发展，而在微电子加工的过程中，常常需要使用微通道来对电解液进行运输。但是，在现有技术中，在对电解液运输的过程中，常常会由于通道间管壁与流体间的剪切力会影响流体的流速，在运输的过程中常常由于电解液中气泡或杂质堵塞微通道导致电解液无法运输，大大影响了微电子加工的进程，且在运输的过程中，通常在初始端停止输送电解液来中断运输，这种方式使得电解液在输送末端停止出现延迟，导致电解液运输过多，影响微电子加工生产，为此，我们提出了一种用于微电子加工用的电解液运输装置来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：传统电解液输送过程中，管壁与流体间的剪切力会影响流体的流速，大大降低运输效率，且中断运输容易出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于微电子加工用的电解液运输装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内开设有运输腔(5)，所述壳体(1)内设置有输液通道(3)，所述输液通道(3)呈V型设置在运输腔(5)的一侧，所述壳体(1)的一侧侧壁上固定设置有两个入液口(2)，两个所述入液口(2)与输液通道(3)的一端对应连通设置，所述运输腔(5)靠近输液通道(3)的一侧侧壁上固定设置有汇聚口(4)，所述汇聚口(4)与输液通道(3)远离入液口(2)的一端对应连通设置，所述运输腔(5)固定设置有两组磁铁条(6)，两组所述磁铁条(6)对称设置在汇聚口(4)的两侧，且每组磁铁条(6)包括两根堆叠在一起的磁铁条(6)，所述汇聚口(...

【技术特征摘要】
1.一种用于微电子加工用的电解液运输装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内开设有运输腔(5)，所述壳体(1)内设置有输液通道(3)，所述输液通道(3)呈V型设置在运输腔(5)的一侧，所述壳体(1)的一侧侧壁上固定设置有两个入液口(2)，两个所述入液口(2)与输液通道(3)的一端对应连通设置，所述运输腔(5)靠近输液通道(3)的一侧侧壁上固定设置有汇聚口(4)，所述汇聚口(4)与输液通道(3)远离入液口(2)的一端对应连通设置，所述运输腔(5)固定设置有两组磁铁条(6)，两组所述磁铁条(6)对称设置在汇聚口(4)的两侧，且每组磁铁条(6)包括两根堆叠在一起的磁铁条(6)，所述汇聚口(4)设置在磁场为零的中心处，所述运输腔(5)远离汇聚口(4)的一侧侧壁上开设有出液通道(10)，所述出液通道(10)与汇聚口(4)对应贯穿壳体(1)的一侧侧壁设置，所述壳体(1)内设有出液分液机构，所述壳体(1)的一侧侧壁上固定设置有与出液通道(10)对应的第一出液口(12)，所述壳体(1)的下壁上还对称固定设置有若干撑座(16)，所述壳体(1)的上壁上还开设有观测口(15)。


2.根据权利要求1所述的一种用于微电子加工用的电解液运输装置，其特征在于，所述出液分液机构包括偏转磁块(14)，所述出液通道(10)的一侧侧壁上开设有偏转通道(11)，所述偏转通道(11)贯穿壳体(1)的一侧侧壁设置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱言文，
申请(专利权)人：朱言文，
类型：发明
国别省市：湖北;42