下载一种用于微电子加工用的电解液运输装置的技术资料

文档序号:26382065

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本发明公开了一种用于微电子加工用的电解液运输装置,包括壳体,所述壳体内开设有运输腔,所述壳体内设置有输液通道,所述输液通道呈V型设置在运输腔的一侧,所述壳体的一侧侧壁上固定设置有两个入液口,两个所述入液口与输液通道的一端对应连通设置,所述运...
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