下传动设备及单晶炉制造技术

技术编号:26378367 阅读:33 留言:0更新日期:2020-11-19 23:47
本实用新型专利技术提供一种下传动设备及单晶炉,其中,下传动设备用于单晶炉中驱动坩埚升降,包括:支架;丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。根据本实用新型专利技术的下传动设备能够提升单晶炉的安全性,及时检测出漏硅,且结构稳定。

【技术实现步骤摘要】
下传动设备及单晶炉
本技术涉及光伏领域,具体涉及一种下传动设备及单晶炉。
技术介绍
单晶炉是单晶体的生长设备,下传动是单晶炉的主要设备,设置在炉体的下部,用于驱动石英坩埚升降、旋转。下传动设备通常采用滚珠丝杠,滚珠丝杠不具备自锁功能,会导致安全性不足。炉内情况主要通过炉盖上的两个窗口观测,石英坩埚轻度破裂造成的漏硅不易察觉。如不能及时发现,将损坏热场、炉底、下传动设备,不仅经济损失巨大,而且有可能造成安全事故。下传动的固定,多采用锁紧螺钉和起顶丝作用的螺钉共同作用,来实现下传动的调平固定。使下传动底部安装面悬空,仅靠螺钉的摩擦力固定底座位置,在下传动使用过程中,易偏移,不仅造成同轴度偏差大,影响拉晶质量,同时下传动需要经常重新找平找正,影响正常生产。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种下传动设备,能够提升单晶炉的安全性,及时检测出漏硅,且结构稳定。为解决上述技术问题,一方面,本技术提供一种下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,包括:支架;丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。进一步地,所述丝杠为梯形丝杠,且螺距为5mm。进一步地,所述升降电机设有电磁抱闸机构。进一步地,所述下传动设备还包括:波纹管,所述波纹管设置在所述支架上,所述波纹管用于套设在所述坩埚轴上;漏硅检测开关,所述漏硅检测开关设在所述波纹管上,所述漏硅检测开关为常闭开关且在检测到温度高于预定温度时打开。进一步地,所述下传动设备还包括:报警装置,所述报警装置与所述漏硅检测开关相连,且在所述漏硅检测开关打开时发出报警。进一步地,所述波纹管包括:法兰,所述法兰用于连接单晶炉底部;直管,所述直管设置在所述法兰的下方,所述漏硅检测开关设置在所述直管上;波片,所述波片设置在所述直管下方。进一步地,所述下传动设备还包括:4组楔块垫铁组件,所述楔块垫铁组件分别设置在所述支架的底部的四个拐角处,所述楔块垫铁组件用于调节所述支架与安装底座之间的高度。进一步地,每组所述楔块垫铁组件包括两个楔面相互配合的楔铁块以及在前后方向上连接所述楔铁块的调节螺栓,通过所述调节螺栓调节该楔块垫铁组件的高度。进一步地,还包括:固定螺栓,所述固定螺栓在上下方向上穿设在所述支架底部的拐角处,用于将所述支架固定在所述安装底座上。进一步地,所述支架的每个拐角的相邻两个外侧面分别通过水平方向设置的顶紧螺栓与所述安装底座相连。另一方面,本技术提供一种单晶炉,包括:下传动设备,所述下传动设备为上述任一项所述的下传动设备;安装底座,所述安装底座上安装有所述的下传动设备;坩埚轴,所述坩埚轴由所述下传动设备的丝杠带动进行上下运动。本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:根据本技术的下传动设备,丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角,能够实现自锁功能,提升了单晶炉的安全性;进一步地,升降电机设有电磁抱闸机构,升降电机能够实现抱闸功能,进一步提升单晶炉的安全性;进一步地,下传动设备包括漏硅检测开关,能够及时检测出漏硅,从而减少单晶炉的损失且提升安全性;进一步地,支架的底部的四个拐角处设置4组楔块垫铁组件,能够提升下传动设备的稳定性,避免下传动设备出现偏移。附图说明图1为根据本技术一实施例的下传动设备的主视图;图2为图1中的下传动设备的侧视图。附图标记:100、支架;200、丝杠;300、波纹管;310、法兰;320、直管;330、波片;400、漏硅检测开关;500、电机、600、楔块垫铁组件;700、固定螺栓;800、顶紧螺栓;900、挡块。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例的附图,对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。除非另作定义,本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。下面,首先说明根据本技术实施例的下传动设备。图1和图2示出了根据本技术的下传动设备可选实施例。如图1和图2所示,根据本技术的下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,包括:支架100、丝杠200及升降电机500。其中,丝杠200安装在支架100上用于带动坩埚轴进行上下运动,丝杠200的螺纹升角小于当量摩擦角。丝杠200的螺纹升角小于当量摩擦角,能够使得丝杠200具有自锁功能。当设备因故障停机的时候,丝杠200的自锁功能够使得坩埚轴与丝杠200的相对位置进行锁定,避免坩埚轴与丝杠200进行滑动造成单晶炉损坏和安全事故,从而提升单晶炉的安全性。进一步地,丝杠200为梯形丝杠,且螺距为5mm。例如,采用直径50mm,螺距为5mm的梯形丝杠,能够具有较好的自锁功能,且满足顺畅地带动坩埚轴升降运动。升降电机500连接丝杠200,用于驱动丝杠200进行转动。也就是说,升降电机500带动丝杠200进行转动,丝杠200带动坩埚轴进行上下运动。由此,能够实现坩埚轴位置的精确调节。根据本技术一些实施例,升降电机500设有电磁抱闸机构。在升降电机500因故障断电的时候,电磁抱闸机构运行,电机500停止转动,从而能够锁定丝杠200的位置,能够避免丝杠200由于坩埚轴的重力发生转动,出现坩埚轴的下降造成单晶炉损坏和安全事故的情况。在设备故障停机的情况下,丝杠200的自锁功能与电机500的抱闸机构结合,能够使得设备的安全性更高。需要注意的是,以上只是可选地示例,电磁抱闸机构可以由电气制动机构(例如能耗制动机构、反接制动机构等)代替,即电机的任何抱闸机构均应该理解在本技术范围内。根据本技术一些实施例,下传动设备包括波纹管300和漏硅检测开关400。其中,波纹管300设置在支架100上,波纹管300用于套设在坩埚轴上。波纹管300能够对坩埚轴和单晶炉底部进行密封,避免外界气体进入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,其特征在于,包括:/n支架;/n丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;/n升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,其特征在于,包括:
支架;
丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;
升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。


2.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,所述丝杠为梯形丝杠,且螺距为5mm。


3.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,所述升降电机设有电磁抱闸机构。


4.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,还包括:
波纹管,所述波纹管设置在所述支架上,所述波纹管用于套设在所述坩埚轴上;
漏硅检测开关,所述漏硅检测开关设在所述波纹管上,所述漏硅检测开关为常闭开关且在检测到温度高于预定温度时打开。


5.根据权利要求4所述的下传动设备,其特征在于,还包括:
报警装置,所述报警装置与所述漏硅检测开关相连,且在所述漏硅检测开关打开时发出报警。


6.根据权利要求4所述的下传动设备,其特征在于,所述波纹管包括:
法兰,所述法兰用于连接单晶炉底部;
直管,所述直管设置在所述法兰的下方,所述漏硅检...

【专利技术属性】
技术研发人员:李永哲王瑞贤李维琛
申请(专利权)人:河北晶龙阳光设备有限公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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