一种检测头，包括一检测电检测件之紧密相邻排列的检测点的接触装置，具有多个与一检测装置电连接并设于至少一个导引件，最好是两导板的馈入通孔中的接触体元件，其中每一接触体元件都在导引件的与其相配的各馈入通孔中可轴向位移，它们的一端指向连接元件的一个接触位置，另一端指向检测件的一个相应检测点。接触体元件靠止动件阻止其从馈入通孔中滑出，而连接元件则和接触装置成可拆卸连接。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种具有与一被测电气元件的检测点，特别是排列紧邻的检测点相接触的装置的检测头。这里申请类型的检测头是用来同时接触一电构件的多个、紧密相邻排列的检测点，例如一个半导体结构元件的检测点。检测头包括多个针形，由一种弹性材料制成的接触体元件，这种接触体元件在检测过程中各与其相配的检测点一起被带入装置。接触体元件是接触装置的一部分。在接触体元件放于检测点上或者检测点放于接触体元件上时，通过接触体元件的失去挠力和/或失去弹性便在垂直于其长度伸展方向产生了接触力。接触体元件被安置于两个相互隔开距离的导板的馈入通孔中。由于接触元件的功能，接触体元件必须在导板的馈入通孔中被轴向可移动的放置。为避免接触体元件在检测头处于准备就绪位置上，例如在两个检测过程之间，由于重力原因从馈入通孔掉出来，德国专利DE 23 64 786提供了，在接触体元件的端部区域加上一支撑头解决方案，该支撑头的外尺寸大于馈入通孔的净宽度。在上导板的背靠检测件的一面安置了一个盖体馈入通孔的反向支座，当检测头被转动时靠其帮助阻止了接触体元件从馈入通孔中掉出。此反向支座与接触装置死性相连，因此调换接触体元件(若绝对需要的)只有花很大代价才有可能，因为为此必须拿掉接触装置的反向支座和破坏掉两部分相互支撑的固定物。由于接触体元件之间相对大的距离不再能接触在紧密空间排列的、小的检测点，正如举例来说它们在半导体元件的检测件中常出现的那样。因此，本专利技术的目的是提供一种检测头，在这种检测头中接触体元件是紧密相邻排列的并且容易调换。为解决所述任务推荐具有权利要求1特征的检测头。其特点为，藉助于止动件，保证了接触体元件不从馈入通孔中掉出，和连接元件和接触装置靠固定物以可拆卸相互连接。由此将连接元件从接触装置分离或反过来，使得两部分之一可以方便地调换。其次，连接元件与接触装置的分离，使得从接触装置面对连接元件那一边对接触体元件进行维护和修理工作提供了方便。更进一步，使得作为检测装置一部分的接触体元件用于不同接触装置成为可能，由此就给出了万能通用性。“不同”接触装置可能在主要方面具有同一结构，而其差别主要在于接触体元件的空间排列，该排列布局与某检测件的检测点的排列和/或者接触体元件的数目相适应。因此连接元件应对不同检测件都适用。为了使在馈入通孔中可轴向位移安置的接触体元件在准备就绪位置时，例如在两个检测过程之间，不能从馈入通孔中掉出，安置了使接触体元件保证不被丢失的止动件。有一种检测头的实施例特别优越，在这个实例中由电导材料组成的接触体元件提供一个直径较大的一段和一个紧靠着的第二个直径较小的一段，其中，直径差由能通过在第一段区域的电绝缘层做成。绝缘层一方面用来在接触体元件碰触时至少一部分接触体元件在检测过程中被偏折开其垂直于其长度伸展方向阻止电接触。另一方面藉助于绝缘层帮助将接触体元件保持于接触装置之中保证了不丢失。在一种优点众多的检测头实施形式下，接触体元件用它第二个直径较小的一段，在导引件的各相应排列的馈入通孔中可轴向位移的被导引，其中馈入通孔的直径小于第一个直径较大的一段的外径。通过第一段与第二段间的直径差在接触体元件上形成了一阶梯，边棱或相似物，它们压于导引件的一个表面，边棱或相似物上并由此阻止了接触体元件由于其本身的重量的滑落。基于这实施例，能在接触体元件第二段和馈入通孔之间具有相对大的余地，使得造价相对降低。根据第一次实施变化，直径过渡，或者说接触体元件第一段和第二段之间的直径差，被通过除去第二段的绝缘而形成。接触体元件的制造是这样进行的，在第一个工作过程中首先将接触体元件用一层绝缘层覆盖，在其次的第二工作过程中两段所需之长度通过在第二段的范围内去除绝缘层来确定。根据进一步的实施变化，直径过渡能通过在第一段的范围内涂电绝缘来完成。接触体元件第一段和第二段之间的直径差的制造在这里被简化到这种程度，即只需要单一的工作步骤。其工作步骤是这样的，例如将接触体元件以确定方式浸入到绝缘液中制备出具有所需层厚的绝缘的精确第一段。自然也可以用其它已知方法来实现接触体元件第一段上的绝缘层。接下去将检测头的一种实施例突出出来，其特征是，导引件包括至少两个具有配合接触体元件的馈入通孔的导板，其中与各接触体元件相配的导板馈入通孔相互间是这样偏离排列的，使得接触体元件在它们之中或是在它们之中的一个中能被摩擦贴切的持住。由于馈入通孔和在其中相配的接触体元件之间的摩擦配合在接触体元件上作用的止动力是那么高，使得在检测头的一种准备就绪位置中，也即接触头不压在检测件的检测点上，接触体元件就或许在馈入通孔中被持住。于是有效地阻止了接触体元件由于接触体元件本身的重量滑落出去。由摩擦配合在接触体元件上作用的止动力同时也可以那么小，使得在检测过程中接触体元件在轴向移位。由此，在导板之间的中间空间接触体元件在垂直于或大部分垂直于其长度伸展方向上，由于弹性伸展而偏折和/或弯折，因此接触力就被加上。检测物的接触体元件能被紧密的，即是非常小的距离相邻排列，使得也可以在功能上检测检测件，即使这种检测件的检测点很小并且排列于紧密的空间中。为使接触体元件在检测头上，即是说，使它们保持于导板的馈入通孔中，用放大接触体元件直径的方法可以放弃了。另一个优点，通过接触体元件摩擦贴切的被持住而来的，是这样的，这些接触体元件能方便的装接，即是说，它们既能容易地装入检测头中，也能在需要情况下被调换。为此只须将接触体元件从导板的馈入通孔中抽出或者压入。在检测头的一个特别优越的实施例中提供了第三个导板，它置于接触装置的第一导板和第二导板之间的中间空间，其中至少一个与接触体元件相配的馈入通孔与在其它两导板上的其余馈入通孔偏离。最好是第三导板的馈入通孔与第一导板和第二导板的馈入通孔偏离，使得在组装好的检测头中接触体元件以确定方式被弯曲。由此一方面完全消除了挠力(或折力)而另一方面在接触体元件和每次至少一相配的导板馈入通孔之间的摩擦配合也形成了。通过第三导板进一步保证了，特别是在检测过程中接触体元件相互之间不相接触，使得在适当情况下能放弃接触体元件相互之间各处的绝缘，这也就降低了检测头的成本。还有一个优越的检测头实施例，在此实施例中面向和/或背向检测点的接触体元件的自由端是一接触尖端。由此也就能接触非常小的，紧密相邻排列的检测点。基于触尖在检测点上的小放置表面到来的表面压力相对的大，使得形成了一个好的电接触。根据对第一实施例稍作改变，提供了针形的，主要由弹簧弹性材料制成的接触体元件在其一个自由端或者两个自由端一直到底变尖或者使其尖化。每个接触体元件和触尖的形成是一个整体。在另外一个实施例中触尖是分开的构件，是装在接触体元件的自由端上的。由此可以对一检测头装上具有不同形状和/或者不同尺寸的触尖的接触体元件，这样检测头的适应性就得到了改善。与触尖的形状无关其较大直径或者最大宽度能小于或者大于接触体元件的直径或者与其相应。这就是说，从接触体元件到触尖的过渡或者是流线的和无阶梯的或者此过渡至少显出一个台阶。最后再突出一个检测头的实施例，在这个实施例中，接触件元件摩擦贴切的被保持在一止动薄膜，弹胶物(Elastomer)层或类似物的馈入通孔中。对于作为接触体元件止动件的所有实施实检来说共同的是，它们都是由软性的和非导电本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种检测头，包括一接触一电检测件的，主要是紧密相邻排列的检测点的接触装置，和一有多个与一检测装置的连接元件电连接的接触体元件，它们被装置于至少一个导板，最好是两个导板的馈入通孔中，其中每个接触体元件在各相配的导板馈入通孔中可轴向位移的被导引和其中各接触体元件的一端被指向连接元件的一接触位置上而另一端可指向检测件的各相应检测点，其特征在于，还有阻止接触体元件（２５）从馈入通孔（２３、４７）中跌落出来的止动件，和使连接元件（１１）与接触装置（７）成可分离连接的固定件（９）。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖讷施密德，克劳斯吉林格尔，乌尔里希高斯，海因茨多伊施，
申请(专利权)人：精密金属有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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