用于检测具有界面的微结构的检测头制造技术

技术编号:2637646 阅读:191 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种检测头,包括一检测电检测件之紧密相邻排列的检测点的接触装置,具有多个与一检测装置电连接并设于至少一个导引件,最好是两导板的馈入通孔中的接触体元件,其中每一接触体元件都在导引件的与其相配的各馈入通孔中可轴向位移,它们的一端指向连接元件的一个接触位置,另一端指向检测件的一个相应检测点。接触体元件靠止动件阻止其从馈入通孔中滑出,而连接元件则和接触装置成可拆卸连接。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有与一被测电气元件的检测点,特别是排列紧邻的检测点相接触的装置的检测头。这里申请类型的检测头是用来同时接触一电构件的多个、紧密相邻排列的检测点,例如一个半导体结构元件的检测点。检测头包括多个针形,由一种弹性材料制成的接触体元件,这种接触体元件在检测过程中各与其相配的检测点一起被带入装置。接触体元件是接触装置的一部分。在接触体元件放于检测点上或者检测点放于接触体元件上时,通过接触体元件的失去挠力和/或失去弹性便在垂直于其长度伸展方向产生了接触力。接触体元件被安置于两个相互隔开距离的导板的馈入通孔中。由于接触元件的功能,接触体元件必须在导板的馈入通孔中被轴向可移动的放置。为避免接触体元件在检测头处于准备就绪位置上,例如在两个检测过程之间,由于重力原因从馈入通孔掉出来,德国专利DE 23 64 786提供了,在接触体元件的端部区域加上一支撑头解决方案,该支撑头的外尺寸大于馈入通孔的净宽度。在上导板的背靠检测件的一面安置了一个盖体馈入通孔的反向支座,当检测头被转动时靠其帮助阻止了接触体元件从馈入通孔中掉出。此反向支座与接触装置死性相连,因此调换接触体元件(若绝对需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测头,包括一接触一电检测件的,主要是紧密相邻排列的检测点的接触装置,和一有多个与一检测装置的连接元件电连接的接触体元件,它们被装置于至少一个导板,最好是两个导板的馈入通孔中,其中每个接触体元件在各相配的导板馈入通孔中可轴向位移的被导引和其中各接触体元件的一端被指向连接元件的一接触位置上而另一端可指向检测件的各相应检测点,其特征在于,还有阻止接触体元件(25)从馈入通孔(23、47)中跌落出来的止动件,和使连接元件(11)与接触装置(7)成可分离连接的固定件(9)。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:赖讷施密德克劳斯吉林格尔乌尔里希高斯海因茨多伊施
申请(专利权)人:精密金属有限公司
类型:发明
国别省市:DE[德国]

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