下载用于检测具有界面的微结构的检测头的技术资料

文档序号:2637646

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一种检测头,包括一检测电检测件之紧密相邻排列的检测点的接触装置,具有多个与一检测装置电连接并设于至少一个导引件,最好是两导板的馈入通孔中的接触体元件,其中每一接触体元件都在导引件的与其相配的各馈入通孔中可轴向位移,它们的一端指向连接元件的一...
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