适合检查多接脚装置的探针卡制造方法及图纸

一种适合检查多接脚装置的探针卡，包括：多个探针接脚，各探针接脚具有接触待测装置的电极之一的一尖端；一弹性元件，当探针接脚接触电极时，使各探针接脚的尖端沿探针接脚的轴向弹回；多根传送线，当探针接脚接触电极时，将信号输入至探针接脚并接触探针接脚输出的信号；以及一底座，固定探针接脚与传送线。至少某些探针接脚可在探针卡上排成一直线。弹性元件具有探针接脚移动机构。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种测试诸如集成电路(IC)晶片、大规模集成电路(LSI)晶片和记忆体之类的半导体集成电路的电子特性的探针卡，尤其是涉及一种能快速测试多接脚半导体的探针卡。探针卡一般是用于诸如IC晶片、LSI晶片与记忆体之类的半导体IC电子特性。由Asakura(姓)在1996年九月出版于Nikkei Microdevices中的论文揭露了传统的悬臂式探针卡与薄膜型探针卡，见其图4和相关解释。Asakura的图7与其相关解释也指出传统探针卡的探针接脚有时擦到待测半导体IC的电子端。Asakura的图8与其相关解释揭露了传统探针接脚的变化。由Asakura在1996年七月出版于Nikkei Microdevices中的另一论文指出，在112页的右栏中，探针接脚最好磨擦电极，以及在113页的左栏中，探针接脚最好较短。附图说明图1示出了测试诸如IC晶片或LSI晶片之类的半导体装置10的传统悬臂式探针卡的基本结构。传统悬臂式探针卡具有测试接头15，弹簧单高跷(pogo)接脚110，经由弹簧单高跷接脚110而连接至测试接头15的垫111，有垫111安置于其上的固定印刷电路板132，以及支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试具有多个电极的装置的探针卡，它机械接触待测装置的电极，该探针卡包括：多个探针接脚，各探针接脚具有接触待测装置的电极之一的一尖端；一弹性元件，当探针接脚接触电极时，它使各探针接脚的尖端沿该探针接脚的轴向弹回；多根传送线，当 探针接脚接触电极时，将信号输入至探针接脚并接收该探针接脚输出的信号；以及一底座，固定该探针接脚与该传送线。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小昭夫，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]