下载适合检查多接脚装置的探针卡的技术资料

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一种适合检查多接脚装置的探针卡,包括:多个探针接脚,各探针接脚具有接触待测装置的电极之一的一尖端;一弹性元件,当探针接脚接触电极时,使各探针接脚的尖端沿探针接脚的轴向弹回;多根传送线,当探针接脚接触电极时,将信号输入至探针接脚并接触探针接脚...
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