【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般地涉及一种自动测试设备,更具体地涉及一种用于自动测试设备的探头接口硬件。自动测试设备,也称作测试器,通常用于确定半导体器件是否含有生产缺陷。如附图说明图1所示,测试器100一般包括一个其壳内装有计算机控制和数据采集电路(未示)的测试器体102,一个具有大量驱动器和接收槽路(未示)的测试头104,和一个接口硬件,诸如一个包括大量电接触探头(未示)的探头接口模块106。探头接口模块106中的各个接触探头典型地在测试头104之一上的一条槽路和一个受测试器件108的一个电节点(未示)之间提供电接触。另外,测试头104的各个槽路典型地耦连到测试体102中的控制与数据采集电路。早期的半导体器件典型地要么包括数字电路要么包括简单的模拟电路,但是现今的器件往往既包括数字电路又包括模拟电路。这种器件一般称作混合信号电路,并且测试它们的测试器通称为混合信号测试器。这些混合信号器件往往运行不仅信号电平低而且频率非常高的模拟信号。这些器件往往还典型地以非常高数据速度运行数字信号。而且随着器件的更新换代,这些器件的密度通常也在增长。结果,测试器电路和受测试的器件之间的接 ...
【技术保护点】
一种用于确定受测试的器件是否正常工作的测试器,包含: 一个包括计算机控制和数据采集电路的测试器体; 一个包括驱动器和耦连测试器体内电路用的接收槽路的测试头;和 一个连接在测试头和受测试器件之间的接口硬件,所述接口硬件包括一个底板和多个安装在其中的电接触探头组件,每个电接触探头组件具有:一个适用于穿过并且接合着一个环形绝缘定位件的接触探头,所述定位件适用于穿过并且接合一个匀质连续的管状屏蔽,和一个匀质连续的管状基准,其中,屏蔽和基准电连接。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。