浮动平板电压监视器制造技术

一种浮动平板离子监视系统和方法，其中离子收集器组件（５０）包括呈一定空间关系的离子导电表面（５２）和屏蔽表面（６２），离子导电表面位于接收撞击离子的位置，并且电势施加在屏蔽表面（６２）上，该表面复制并跟随离子导电表面（５２）上的电压。因此建立起离子导电表面（５２）与屏蔽表面（６２）之间的电容并且独立于离子收集器组件（５０）的物理结构。为此提供单位增益连接运算放大器（９０）并将其正输入（９２）与离子导电表面（５２）连接而将其反相输入（９４）与屏蔽表面（６２）连接。连接放大器输出的指示器监视离子导电表面（５２）上的电压。电压基准施加在电学建立的电容（９８）上从而使电压标称值无需等于或大于离子导电表面上出现的电压限。所施加电压基准的大小可以改变电学建立电容（９８）大小的方式变化。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电气测量技术，并且特别涉及为孤立的和/或远程表面或结构(例如浮动平板离子监视系统的离子收集平板单元)提供电压测量和预充电的电气测量方法和装置。
技术介绍
浮动平板离子监视系统一般用于测量半导体制造工业中所用室内空气离子化系统的有效性和效率，从而减少或消除制造过程中电荷灵敏半导体或LCD(液晶器件)上的电荷积累。众所周知，如果不能控制或消除电荷敏感半导体元件(金属氧化物半导体门列阵、数字存储器或逻辑单元或利用TFT器件(薄膜晶体管)的LCD器件)上的电荷积累，将导致这些器件半导体结的即刻损坏或者场失效的早期发生。正和负空气离子一般用于淹没区域(flood area)，在那里半导体器件被处理为提供一团移动空气离子电荷，它们可被与所处理的半导体器件相关的不需要电荷吸引从而有效地抵消而得到零净电荷。典型的浮动平板离子监视系统通过提供测量空气离子化系统产生的每种极性移动空气离子的数量的手段和通过提供测量所产生空气离子场将各种与半导体工艺线相关的空间区域保持在零电压水平上或附近的能力，在空气离子控制系统中起着重要的作用。在使用中，典型的浮动平板监视系统提供两种操作模式，“衰减本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浮动平板离子监视系统，其特征在于包括： ａ）离子收集器组件，包括位于绝缘材料片相对侧面上的离子导电表面和屏蔽表面，离子导电表面位于接收离子撞击的位置；以及 ｂ）将复制和跟随离子导电表面上电压的电势施加在屏蔽表面上的装置； ｃ）由此以电学方式在离子导电表面与屏蔽表面之间建立电容并且独立于离子收集器组件的物理结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：布鲁斯T威廉姆斯，
申请(专利权)人：布鲁斯T威廉姆斯，
类型：发明
国别省市：US[美国]