电子部件试验装置及其试验方法制造方法及图纸

使保持被试验ＩＣ的把持侧接触臂（３１７）位于调节装置（３２０）的调节用ＣＣＤ照相机（３２６）的光轴（ＯＰ）上，把该被试验ＩＣ插入到形成在调节用可动部分（３２１）上的第１开口部分（３２１ａ）中，使把持侧接触臂（３１７）的搭接用构件（３１７ｄ）搭接到调节可动部分（３２１）上，而且，由照相机（３２６）拍摄，通过进行图像处理计算用于被试验ＩＣ的位置修正的调节量，使第１接触臂（３１５ａ１）具备的锁定／释放单元（３１８）成为非约束状态，根据该调节量驱动可动部分驱动装置（３２２），通过使搭接在调节用可动部分（３２１）上的把持侧接触臂（３１７）相对于基底侧接触臂（３１６）移动，进行被试验ＩＣ的位置调节。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于进行半导体集成电路元件等各种电子部件(以下，也代表性地称为IC。)的电子部件试验装置，特别是涉及减少误接触的电子部件试验装置。
技术介绍
在称为处理机(Handler)的电子部件试验装置中，把收容在托盘中的多个被试验IC传送到处理机内，使各个被试验IC与测试头电接触，在电子部件试验装置本体(以下，也称为试验机。)中进行试验。而且，如果结束试验则把各个被试验IC从测试头中退出，通过分别放置在与试验结果相对应的托盘中，进行优良品或者不良品的分类。在以往的处理机中，使被试验电子部件接触测试头接触部分的接触臂具备多个致动器，通过控制该致动器，进行被试验电子部件对于接触部分的定位。但是，这样结构的接触臂由于具有比较大的重量因此难以高速移动。这样的问题随着同时测定数量的增加而增加接触臂根数的情况下特别显著。另一方面，如果被试验电子部件没有适当地进行对于接触部分的定位，则产生被试验电子部件对于接触部分误接触的极大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供正确而且可靠地进行被试验电子部件对于接触部分的定位，减少误接触的发生频率的同时，能够高速移动把持、传送被试验电子部件的接触本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，具有把持被试验电子部件并且使被试验电子部件接触测试头的接触部分的第１接触臂和设置在底盘一侧使上述第１接触臂移动的移动单元，其特征在于，该电子部件试验装置还具有：拍摄由上述第１接触臂把持的状态下的被试验电子部件的第１拍摄单元；根据由上述第１拍摄单元拍摄的图像信息识别由上述第１接触臂把持的被试验电子部件对于上述接触部分的相对位置的图像处理单元；根据由上述图像处理单元识别的上述被试验电子部件对于上述接触部分的相对位置，修正把持了上述被试验电子部件的第１接触臂的位置的接触臂位置修正单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥田广，清川敏之，中岛治希，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]