【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备
本申请属于清洗设备
，尤其是涉及一种晶圆清洗设备。
技术介绍
晶圆的清洗通常是先将晶圆放置晶圆篮内，再由输送机构将晶圆篮输送到各类清洗设备内进行清洗，晶圆篮清洗设备进料机构就是用于将晶圆篮输送到清洗工位上。清洗工位通常有很多个，比如进行清水洗的、酸洗或碱洗的、再次清水洗的，因此，需要一种能够方便传输的晶圆清洗设备。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种进料和传输方便的晶圆清洗设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆清洗设备，包括：呈直线排布的进料工位和若干清洗工位，以及用于将晶圆篮从进料工位输送到清洗工位或者将晶圆篮在不同清洗工位上传输的输送机构；所述进料工位包括：工作台，所述工作台设置有用于固定晶圆篮的第一固定座，第二固定座和第三固定座，其中第一固定座，第二固定座和第三固定座成“L”形布置，且第一固定座与第二固定座、第二固定座与第三固定座之间的所述工作台上成型有让位槽，让位槽也为“L...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：/n呈直线排布的进料工位（1）和若干清洗工位（2），以及用于将晶圆篮（9）从进料工位（1）输送到清洗工位（2）或者将晶圆篮（9）在不同清洗工位（2）上传输的输送机构（3）；/n所述进料工位（1）包括：/n工作台（11），所述工作台（11）设置有用于固定晶圆篮（9）的第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113），其中第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）成“L”形布置，且第一固定座（111）与第二固定座（112）、第二固定座（112）与第三固定座（113）之间的所述工作台（11）上成型有让位...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：
呈直线排布的进料工位（1）和若干清洗工位（2），以及用于将晶圆篮（9）从进料工位（1）输送到清洗工位（2）或者将晶圆篮（9）在不同清洗工位（2）上传输的输送机构（3）；
所述进料工位（1）包括：
工作台（11），所述工作台（11）设置有用于固定晶圆篮（9）的第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113），其中第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）成“L”形布置，且第一固定座（111）与第二固定座（112）、第二固定座（112）与第三固定座（113）之间的所述工作台（11）上成型有让位槽（114），让位槽（114）也为“L”形布置；所述让位槽（114）的宽度小于晶圆篮宽度；
第一传输组件（12），位于所述工作台（11）下方，用于将晶圆篮（9）从第一固定座（111）运输到第二固定座（112）上；
第二传输组件（13），位于所述工作台（11）下方，用于将晶圆篮（9）从第二固定座（112）运输到第三固定座（113）上；
所述输送机构（3）包括
水平安装架（21），所述水平安装架（21）上设置有水平滑轨（211）；
机械手组件（22），包括设置在水平滑轨（211）上的水平滑动座（221），所述水平滑动座（221）上安装有竖直滑轨（222），所述竖直滑轨（222）上设置有竖直滑动座（224）；
所述竖直滑动座（224）上设置有两个平行的水平布置的转动轴（225），所述转动轴（225）上分别设置有抓取架（226），抓取架（226）包括U形的支撑架（2261），通过紧固螺母（2263）固定在支撑架（2261）上的伸入U形的支撑架（2261）内的U形抓取杆（2262），抓取杆（2262）与支撑架（2261）形成长方形框架结构；
水平驱动件（212）驱动水平滑动座（221）在水平滑轨（211）上运动；
升降驱动件（223）驱动竖直滑动座（224）在竖直滑轨（222）上运动；
旋转驱动件（227）驱动两个平行的水平布置的转动轴（225）向相反方向转动。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块（151）。
3.根据权利要求2所述的晶圆清...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，童建，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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