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本申请涉及一种晶圆清洗设备，进料工位中，晶圆篮在工作台上运动，运动的传输组件在工作台下方运动，传输组件穿过工作台以托起晶圆篮的方式进行运动，同时让位槽的宽度小于晶圆篮宽度，这样就可以完全避免晶圆篮从让位槽处落下，降低晶圆损坏风险。输送机构中...
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