振动检测装置及测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术是有关一种振动检测装置，其即为本发明专利技术权利要求第一项所述的振动检测装置，其检测信号的振动，且包括：高通滤波器，产生已去除了信号的直流成分的交流信号；限幅电路，产生将交流信号的振幅电平限制在预先给予的电平或该电平以下的限幅信号；积分电路，积分该限幅信号的预定期间的波形；以及比较器，根据经积分电路所积分的值，来检测信号是否振动。该振动检测装置可更包括绝对值电路，将交流信号的负信号成分转换为正信号成分，且也可更包括绝对值电路，将限幅信号的负信号成分转换为正信号成分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于检测信号的振动的振动检测装置及测试电子设备的测试装置。关于因参照文献的组合而允许并入的指定国，藉由参照下述美国申请案的内容而并入本申请案中，作为本申请案的一部分。申请案编号10/848,895申请日2004年5月19日。
技术介绍
先前，在测试半导体电路等电子设备的测试装置中，将电源电力供给到电子设备中。此时，因作为测试装置的负荷而连接的电子设备的特性，有时会造成电源电压等产生振动。因担心电源电压等产生振动时，测试装置或电子设备会发生故障，所以优先对电源电压等的振动进行检测。现有的振动检测装置包括去除所给予的信号的直流成分用的滤波器(filter)；整流该信号用的绝对值电路(absolute value circuit)；积分已整流的信号的波形用的积分电路(integrating circuit)；以及根据该积分值而判断信号是否振动用的判断电路。然而，上述构成的振动检测装置中，有时即使信号未振动时，当为振幅大的信号时由于积分值也变大，所以会将该信号检测为振动信号。例如于测试装置中，在电源电压的输出开始时或输出停止时，信号电平(signal level)的变动大时，振动检测装置的滤波器的输出信号的振幅变大，而误检测出振动。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种可解决上述问题的振动检测装置及测试装置。此目的通过权利要求中的独立项的特征的组合而实现。而且附属项规定了本专利技术的更有利的具体例。为了解决上述问题，本专利技术的第1形态提供一种振动检测装置，其检测信号的振动，且包括高通滤波器(high pass filter)，产生已去除了信号的直流成分的交流信号；限幅电路(slice circuit)，产生将交流信号的振幅电平(amplitude level)限制在预先给予的电平或该电平以下的限幅信号；积分电路，积分该限幅信号的预定期间的波形；以及比较器，根据经积分电路所积分的值来检测信号是否振动。振动检测装置可更包括绝对值电路，将交流信号的负信号成分转换为正信号成分。而且振动检测装置也可更包括绝对值电路，将限幅信号的负信号成分转换为正信号成分。本专利技术的第2形态提供一种测试装置，其测试电子设备，且该测试装置包括电源部，将电源电压供给到电子设备中；振动检测装置，检测电源电压的振动；以及警告部，在电源电压振动时发出警告，其中上述振动检测装置包括高通滤波器，产生已去除了电源电压的直流成分的交流信号；限幅电路，产生将交流信号的振幅电平限制在预先给予的限幅电平(limited level)或该电平以下的限幅信号；积分电路，积分该限幅信号的预定期间的波形；以及比较器，根据经积分电路所积分的值来检测电源电压是否振动。测试装置可更包括绝对值电路，将交流信号的负信号成分转换为正信号成分。而且测试装置也可更包括绝对值电路，将限幅信号的负信号成分转换为正信号成分。优选高通滤波器，使电源部的固有振动频带的信号成分通过。而且，优选限幅电路中被给予了大于电源部中所容许的振动振幅电平的限幅电平。警告部在比较器已检测出电源电压的振动时，可使电源部的运行停止。而且，将不同的多个标准值(reference value)给予比较器，并将多个标准值与经积分电路所积分的值进行比较，由此可判断电源电压的振动的危险度。另外，上述专利技术概要并非列举了本专利技术的所有必要特征，上述多个特征群的子组合体(subcombination)也可以成为专利技术。根据本专利技术，可减少信号的振动的误检测，且可高效地检测信号的振动。附图说明图1是表示本专利技术实施形态的测试装置100的结构的一示例的图。图2是表示振动检测装置50的结构的一示例的图。图3是表示已整流过的电源电压的交流成分的波形的示例的图。图4是表示限幅电路60的结构的一示例的图。10控制部 20逻辑部30电源部 40警告部50振动检测装置 52高通滤波器54绝对值电路 56积分电路58比较器 60限幅电路62电阻 64差动放大器 66二极管 68二极管100测试装置 200电子设备具体实施方式以下，通过专利技术的实施形态来说明本专利技术，但以下的实施形态并非是限定权利要求中的专利技术，而且实施形态中所说明的所有特征的组合并非限于专利技术的解决手段中所必须的。图1是表示本专利技术的实施形态的测试装置100的结构的一示例的图。测试装置100是测试半导体电路等电子设备200的装置，且该测试装置100包括控制部10、逻辑部20、电源部30、警告部40、及振动检测装置50。逻辑部20将用以测试电子设备200的测试图案输入到电子设备200中，并根据电子设备200所输出的输出信号来判断电子设备是否优良。电源部30将用以驱动电子设备200的电源电压及电源电流供给到电子设备200中。本示例中的测试装置100是进行电子设备200的逻辑测试的结构，但在其他示例中，测试装置100也可是进行直流测试的结构，该直流测试测定所供给到电子设备200中的电源电压及电源电力。振动检测装置50检测所给予的信号的振动。本示例中，振动检测装置50检测由电源部30供给到电子设备200中的电源电压的振动。警告部40在电源电压振动时对控制部10发出警告。而且，警告部40在已检测出电源电压的振动时，也可使电源部30的运行停止。此时，优选警告部40将因电源电压振动而使电源部30的运行停止的命令通知给控制部10。图2是表示振动检测装置50的结构的一示例的图。振动检测装置50包括高通滤波器52、绝对值电路54、限幅电路60、积分电路56、及比较器58。高通滤波器52产生交流信号，该交流信号去除了由电源部30供给到电子设备200中的电源电压的直流成分。优选高通滤波器52使电源部30的固有振动频带的信号成分通过。此处，所谓固有振动频率是指例如由构成电源部30的电路的元件特性而决定的该电路的振动频率。绝对值电路54整流该交流信号。亦即，绝对值电路54将交流信号的负信号成分转换为正信号成分。限幅电路60产生限幅信号，该限幅信号将交流信号的振幅电平限制在预定的限幅电平或该电平以下。亦即，限幅电路60将该限幅电平的信号成分来代替大于交流信号的限幅电平的信号成分。限幅电路60中，也可被给予大于电源部30中所容许的振动振幅电平的限幅电平，来作为该限幅电平。而且，本示例中，绝对值电路54配置在限幅电路60的上游，但其他示例中，绝对值电路54也可配置在限幅电路60的下游。此时，限幅电路60将其所输出的限幅信号的负信号成分转换为正信号成分。积分电路56积分该限幅信号的预定期间的波形。并且，比较器58根据经积分电路56所积分的值来检测电源电压是否振动。图3是表示已整流的电源电压的交流成分的波形的示例的图。本示例中，积分电路56在从预定时间T1到T2为止的期间中，积分该电源电压的波形。当电源电压振动时，将图3的电源电压a所示的波形给予该限幅电路60。振动检测装置50如上所述对去除了大于上述限幅电平的信号成分的波形进行积分。比较器58中被给予了对应于应检测的振动信号的振幅与积分时间(T1～T2)的标准值。例如，当欲检测一种具有导致电源部30发生故障的振幅的振动信号时，将给予一种根据积分时间(T1～T2)而对导致电源部30发生故障的下限的振幅的振动信号进行积分时的积分值，以作为标准值。并且，当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动检测装置，其检测信号的振动，包括：高通滤波器，产生已去除了上述信号的直流成分的交流信号；限幅电路，产生将上述交流信号的振幅电平限制在预先给予的电平或该电平以下的限幅信号；积分电路，积分上述限幅信号的预定期间的 波形；以及比较器，根据经上述积分电路所积分的值，来检测上述信号是否振动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村浩树，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]