图像传感器用试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图像传感器用试验装置（１０），使图像传感器的输入输出端子与试验头（６０）的接触部（６１）接触，一边把光源装置（８０）的光照射到图像传感器的受光面上，一边从试验头（６０）的接触部（６１）对图像传感器的输入输出端子输入输出电信号，这样，对图像传感器进行光学特性试验。该图像传感器用试验装置备有：装载用反转装置（３２），使得以受光面朝上的姿势运入到供给托盘用存放架（２１）的图像传感器反转；接触臂（４３），把持图像传感器的受光面相反侧的背面，使图像传感器移动，以受光面朝下的状态，使图像传感器与试验头（６０）的接触部（６１）接触；以及卸载用反转装置，使试验后的图像传感器反转并运出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及备有使作为试验对象的电子零件反转并进行试验的功能的图像传感器用试验装置及电子零件试验装置。特别涉及这样一种图像传感器用试验装置，即，使CCD传感器、CMOS传感器等的图像传感器反转后，使该图像传感器的输入输出端子与试验头的接触部电接触，一边把光源的光照射到图像传感器的受光面上，一边把电信号输入或输出该图像传感器，这样，试验图像传感器的光学特性。
技术介绍
在称为信息处理器(Handler)的电子零件试验装置中，把半导体集成电路元件等多个电子零件收容在托盘上，运入信息处理器内，使各被试验电子零件与试验头电接触，在电子零件试验装置本体(下面称为试验器)上进行试验。试验结束后，将各电子零件从试验头中运出，换放到与试验结果相应的托盘上，进行合格品和不合格品的分类后，从信息处理器中运出。这样的电子零件中，在CCD传感器、CMOS传感器等图像传感器的试验中，也与上述同样地，使各图像传感器与试验头电接触，与试验结果相应地进行分类，并且，在该试验中，一边使图像传感器与试验头电接触，一边把光源的光照射到图像传感器的受光面上，这样，进行用于检查图像传感器的受光量是否一定的光瞳检查等的光学特性试验。在用于进行该图像传感器的光学特性试验的、已往的图像传感器用试验装置中，由于该试验工序以后的安装工序等的原因，图像传感器是以受光面朝上方的姿势被运出运入，所以，以该状态(即受光面朝上方的状态)移动到试验头上，在受光面朝上方的状态下进行图像传感器的试验。另外，在已往的图像传感器用试验装置中，信息处理器自身上设有光源，如上所述，以受光面朝上的状态进行试验，所以，光源位于图像传感器的上方。但是，以受光面朝上方的状态进行图像传感器的试验时，有时灰尘附着在该受光面上，存在妨碍高精度试验的危险。另外，在近年来采用的图像传感器用试验装置中，为了提高试验效率，希望增加同时测定数目，但是，若如上所述、使光源以位于图像传感器上方的方式装在信息处理器自身上，则随着同时测定数目的增加，光源的数目也增加，导致光源大型化，信息处理器和光源的设计受到制约，不容易确保大量的同时测定数目。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供图像传感器用试验装置，该试验装置，能进行图像传感器的高精度试验，能容易确保较多的同时测定数。(1)为了实现上述目的，根据本专利技术的第一方面，提供一种图像传感器用试验装置，使图像传感器的输入输出端子与试验头的接触部接触，一边把光源的光照射到上述图像传感器的受光面上，一边从上述试验头的接触部对上述图像传感器输入输出电信号，由此，进行上述图像传感器的光学特性试验；其中，至少备有存放试验前的上述图像传感器的试验前传感器存放部；使从上述试验前存放部供给的上述图像传感器反转的装载用反转机构；接触臂，该接触臂把持被上述装载用反转机构反转了的反转状态的该图像传感器并使其移动，使反转状态下的该图像传感器的输入输出端子与上述试验头的接触部电接触；使试验结束后的上述图像传感器反转的卸载用反转机构；若干个试验后传感器存放部，存放被上述卸载用反转机构反转了的试验后的上述图像传感器(见权利要求1)。根据本专利技术的第一方面，在进行图像传感器的光学特性试验的图像传感器用试验装置上，设有使试验前的图像传感器反转的装载用反转机构、和使试验后的图像传感器反转的卸载用反转机构。这样，用反转机构，使以受光面朝上的姿势运入的图像传感器反转，使其受光面朝下，用接触臂使该反转了的图像传感器与试验头的接触部接触，进行试验，再用上述反转机构，把试验后的图像传感器再次反转，使其受光面朝上地运出。因此，可在受光面朝下的状态，进行图像传感器的试验，所以，能防止灰尘附着在该受光面上，能进行高精度的试验。另外，由于能在受光面朝下的状态进行图像传感器的试验，所以，能与信息处理器分开地把光源配置在图像传感器的下方，可大幅度提高信息处理器及光源的设计自由度，能容易地对应同时测定数目的增加。在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述装载用反转机构和上述卸载用反转机构，最好都保持2个以上的上述图像传感器，并可同时反转(见权利要求2)。这样，可提高图像传感器用试验装置的运送能力。具体地说，上述装载用反转机构和上述卸载用反转机构，都至少具有能保持上述图像传感器的第1保持部和使上述第1保持部旋转的旋转机构(见权利要求3)。在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述第1保持部，最好具有能吸附上述图像传感器的吸附管嘴(见权利要求4)。这样，能进行安全而准确的反转动作。另外，在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述第1保持部，为了适应上述图像传感器的大小或形状，能更换为其它的第1保持部，该其它的第1保持部具有与原第1保持部的吸附管嘴不同的吸附管嘴(见权利要求5)。这样，可以用一台图像传感器用试验装置，对应多品种的图像传感器。另外，在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述旋转机构，具有支承上述第1保持部的小齿轮和与该小齿轮啮合的齿条传动装置，把供给到上述齿条传动装置的直动力变换为旋转力，使上述第1保持部旋转(见权利要求6)。这样，可以低价且简单地构成能进行稳定旋转动作的旋转机构。在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述装载用反转机构和上述卸载用反转机构都具有能保持反转后的上述图像传感器的第2保持部；在上述第2保持部上形成了能收容上述图像传感器的凹部(见权利要求7)。借助该凹部，能将反转后的图像传感器相对于试验头的接触部定位。另外，在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，上述第2保持部，为了适应上述图像传感器的大小或形状，能更换为其它的第2保持部，该其它的第2保持部具有与形成在原第2保持部上的凹部不同的凹部(见权利要求8)。这样，可以用一台图像传感器用试验装置，对应多品种的图像传感器。在上述专利技术中，虽然没有加以特别的限定，但是，最好还备有摄像机构，在上述装载用反转机构反转后，该摄像机构能对供给到上述试验头之前的上述图像传感器的背面进行摄像(见权利要求9)；另外，还备有判断机构，根据上述摄像机构摄得的图像信息，判断从上述光源照射的光的照射图谱、以及从上述试验头的接触部输入的电信号的输入图谱(见权利要求10)；或者，还备有选择机构，根据上述摄像机构摄得的品种信息和试验结果的分类信息，从上述若干个试验后传感器存放部中，选择应运出上述图像传感器的试验后传感器存放部(见权利要求11)。(2)为了实现上述目的，根据本专利技术的第二方面，提供一种图像传感器的试验方法，使图像传感器的输入输出端子与试验头的接触部接触，一边把光源的光照射到上述图像传感器的受光面上，一边从上述试验头的接触部对上述图像传感器输入输出电信号，由此，进行上述图像传感器的光学特性试验；其中，至少具有以下步骤使试验前的上述图像传感器反转的第1反转步骤；试验步骤，使反转状态的该图像传感器与上述试验头的接触部电接触，把光源的光照射在该图像传感器的受光面上，进行该图像传感器的光学特性试验；使试验后的反转状态的上述图像传感器反转的第2反转步骤(见权利要求12)。根据本专利技术的第二方面，在图像传感器的试验方法中，在第1反转步骤，使试验前的图像传感器反转，另外，在第2反转步骤，使试验后的图像传感器反转。这样，在试验前，使以受光面朝上的姿势本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像传感器用试验装置，使图像传感器的输入输出端子与试验头的接触部接触，一边把光源的光照射到上述图像传感器的受光面上，一边从上述试验头的接触部对上述图像传感器输入输出电信号，由此，进行上述图像传感器的光学特性试验；其特征在于，至少备有：　　存放试验前的上述图像传感器的试验前传感器存放部；使从上述试验前存放部供给的上述图像传感器反转的装载用反转机构；接触臂，该接触臂把持被上述装载用反转机构反转了的反转状态的该图像传感器并使其移动，使该反转状态的该图像传感器 的输入输出端子与上述试验头的接触部电接触；使试验结束后的上述图像传感器反转的卸载用反转机构；若干个试验后传感器存放部，存放被上述卸载用反转机构反转了的试验后的上述图像传感器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：菊池裕之，新浜舟一，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]