TCP处理装置制造方法及图纸

ＴＣＰ处理机（２）由推动器单元（３）支承在带上形成多个ＴＣＰ的载带（５）并将其推压到与测试头电气连接的探针卡（８）上，使ＴＣＰ的外部端子与探针（８１）连接，由此能够顺次对多个ＴＣＰ实施试验，其中，推动器单元（３）具备转矩马达（４１）和能够通过该转矩马达（４１）的驱动对载带（５）付与规定张力的张力链轮（３５ａ），在转矩马达（４１）的驱动轴（４１１）与张力链轮（３５ａ）的旋转轴（３５１）之间夹装有能够吸收振动的连接部件（柔性联轴节）４３。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于试验作为一种IC器件的TCP(Tape CarrierPackage)或COF(Chip On Film)(以下，将由TCP、COF、其它的TAB(Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)的TCP处理装置。
技术介绍
在IC器件等电子元件的制造过程中，需要用于试验最终制造的IC器件或在中间阶段的器件等的性能或功能的电子元件试验装置，在TCP的场合，使用TCP用的试验装置。TCP用的试验装置一般由测试器本体、测试头、TCP处理装置(以下有称为“TCP处理机”的场合)构成。该TCP处理机具有这样的功能，即，输送在带(也含有薄膜的概念，以下相同)上形成多个TCP的载带，将载带推压在与测试头电气连接的探针卡的探针上，使TCP的外部端子与探针接触，从而顺次对多个TCP进行试验。像这样的TCP处理机，一般地具有推动器本体和链轮，该推动器本体将载带推压向探针，该链轮支承载带并输送该载带。在链轮中，有在推动器本体的后段侧驱动载带的主链轮、和在推动器本体的前段侧辅助载带输送的辅助链轮，通常，主链轮与步进马达连接，辅助链轮与主链轮同步旋转。然而，在上述那样的构成中，由于不能够对载带付以足够的张力，所以，存在有在载带输送过程中载带抖动而不能够以高速输送载带这样的问题，或是在使载带停止时在载带上产生松弛而不能够正确地进行TCP相对于探针的对位这样的问题。另外，为了对载带付以张力，也有强制地使辅助链轮反转若干量的手法，但是在该场合存在对载带付以过度的应力的难点。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的实际情况而制成的，其目的是提供一种TCP处理装置，其可以对载带付与适当的张力，正确地进行载带(TCP)的定位，同时，可以抑制输送中的载带的抖动。为达成上述目的，第一，本专利技术提供一种TCP处理装置，其通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置，为了支承载带并使该载带运行以及停止，在所述推动器的前段侧具有第一链轮，在后段侧具有第二链轮，在所述第一链轮上连接有能够使所述第一链轮旋转的驱动源，所述驱动源以对支承在所述第一链轮以及所述第二链轮上的载带付与规定张力的方式受到控制(专利技术1)。在所述专利技术(专利技术1)中，通过第一链轮的驱动源的控制，可以不对载带付以过度的应力，能够以适度的张力支承载带。由此，在载带停止时，可以正确地进行载带(TCP)的定位，在载带的输送时，可以抑制载带的抖动而高速输送载带，进而达成TCP处理装置的处理速度的提高。在所述专利技术(专利技术1)中，优选的是，所述驱动源付与所述第一链轮的旋转力是与所述第二链轮的旋转方向相反的方向的旋转力(专利技术2)。在所述专利技术(专利技术1、2)中，优选的是，在所述第一链轮和所述驱动源之间，夹装能够吸收振动的连接部件(专利技术3)。根据所述专利技术(3)，即使在第一链轮的驱动源的驱动轴上产生振动，也可以由连接部件吸收驱动轴的振动(并不一定意味着100％吸收振动，在本说明书中相同)，而且，能够向第一链轮传递驱动轴的旋转力。由此，降低第一链轮的振动，有效地抑制起因于该振动的载带的抖动或载带(TCP)的位置偏移。第二，本专利技术提供一种TCP处理装置，通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置具有链轮、驱动源和连接部件；该链轮设在所述推动器的前段侧，可支承载带；该驱动源能够对所述链轮付以与载带的运转方向相反的旋转方向的旋转力；该连接部件设在所述驱动源的驱动轴以及所述链轮的旋转轴之间，能够吸收振动(专利技术4)。根据所述专利技术(4)，即使在驱动源的驱动轴上产生振动，也可以由连接部件吸收驱动轴的振动，而且，向链轮的旋转轴传递驱动轴的旋转力。由此，降低链轮的振动，有效地抑制起因于该振动的载带的抖动或载带(TCP)的位置偏移。在所述专利技术(专利技术4)中，优选的是，所述连接部件是至少在扭转方向具有柔软性的部件(专利技术5)。根据该部件，能够以简单的构造有效地吸收驱动轴的振动。作为这样的部件，例如，虽然可以使用所谓的被称为柔性联轴节的联轴节，但是并不限定于此。在所述专利技术(专利技术4、5)中，优选的是，所述连接部件是具有波纹管构造的部件(专利技术6)。根据这样的部件，能够通过波纹管构造有效地吸收驱动轴的振动，同时，可以高效地向链轮的旋转轴传递驱动轴的旋转力。在所述专利技术(专利技术4～6)中，优选的是，所述驱动源为转矩马达(专利技术7)。根据转矩马达，由所述链轮进行的张力付与的控制容易。另外，在驱动源为转矩马达的场合，虽然在驱动轴易于发生振动，但是可以由连接部件吸收其振动。在所述专利技术(专利技术4～7)中也可如此设置，所述链轮以从上侧支承载带的方式设置在构架上，在所述构架中，设有从下侧支承并对其进行引导的带支承部件(专利技术8)。根据所述专利技术(专利技术8)，因为能够由链轮以及带支承部件从上下方向支承载带，所以可有效地防止载带的无用的举动，可更加高速地进行输送，能够使TCP处理装置的处理速度提高，同时，可以有效地抑制载带的位置偏移。第二，本专利技术提供一种TCP处理装置，通过将在带上形成多个TCP的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压向与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而能够顺次地试验多个TCP，其特征在于，所述输送装置具有链轮和构架；该链轮在所述推动器的前段侧以及/或者后段侧从上侧支承并输送载带；该构架支承所述链轮；在所述构架中，设有从下侧支承并引导载带的带支承部件(专利技术9)。根据所述专利技术(专利技术9)，由于能够通过链轮以及带支承部件从上下方向支承载带，所以可有效地防止载带的无用的举动，可更高速地进行输送，能够使TCP处理装置的处理速度提高，同时，可以有效地抑制由链轮的振动等引起的载带的位置偏移。在所述专利技术(专利技术9)中，还可具备能够吸附保持载带的吸附装置(专利技术10)。该吸附装置可以吸附并固定由引导件抑制位置偏移的载带，因此可以容易地进行被试验TCP的定位。附图说明图1为示出采用本专利技术一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置的正视图。图2为该实施方式的TCP处理机中的推动器单元的正视图。图3为该实施方式的TCP处理机中的张力链轮的驱动装置的剖面图。图4为该实施方式的TCP处理机中的连接部件的立体图。图5为该实施方式的TCP处理机中的带支承部件的侧视图。图6为该实施方式的TCP处理机中的带支承部件的立体图。具体实施例方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在图1中示出了采用本专利技术的一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置。TCP试验装置1由未图示的测试器本体、与测试器本体电气连接的测试头10、和在测试头10的上侧设置的TCP处理机2构成。TCP处理机2顺次试验在载带5上形成的多个TCP，在本实施方式中，为了简化说明，设成为每次一个地试验TCP。但是，本专利技术并不限定于此，也可同时试验沿直列方向以及/或者并列方向排列在载带5上的多个TCP。TCP处理机2具有放卷轴21和收卷轴22，在放卷轴21卷绕有试验前的载带5。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＴＣＰ处理装置，所述ＴＣＰ处理装置将在带上形成多个ＴＣＰ的载带由输送装置输送，同时，由推动器推压到与测试头电气连接的接触部，使ＴＣＰ的外部端子与所述接触部连接，由此能够顺次对多个ＴＣＰ实施试验，其特征在于，所述输送装置，为了支承 载带并使该载带运行以及停止，在所述推动器的前段侧具有第一链轮，在后段侧具有第二链轮，在所述第一链轮上连接有能够使所述第一链轮旋转的驱动源，所述驱动源以对由所述第一链轮以及所述第二链轮支承的载带付与规定张力的方式被控制。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：村野寿，清水洁，金子修一，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]