推压构件及电子部件处理装置制造方法及图纸

推压器（３０）由推压器座（３１）和可拆装地安装在推压器座（３１）上的推压子（３２）构成。具体的是，在推压子（３２）的基部设置凸缘部（３２１），在推压器座（３１）设置平面视为コ字形的板（３３）。然后，通过由板（３３）支承推压子（３２）的凸缘部（３２１）同时使推压子（３２）相对推压器座（３１）滑动，从而不需要工具就可以使推压子（３２）相对于推压器（３０）拆装。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在用于试验IC器件等的电子部件的装置中可以以适当的负荷推压电子部件的推压构件、和装有这种推压构件的电子部件处理装置。
技术介绍
在IC器件等的电子部件的制造过程中，必须有电子部件试验装置，其试验在最终制造出的IC器件或在中间阶段的器件等的性能或功能。 使用电子部件试验装置的IC器件的试验如下面那样进行。由处理器向设有插座的试验头的上方运送被试验IC器件后，通过用推压器向插座推压被试验IC器件，使插座的连接端子和被试验IC器件的外部端子接触。结果，被试验IC器件通过插座、试验头及电缆与测试器本体电连接。之后，通过把从测试器本体经过电缆供给至试验头的试验信号加在被试验IC器件上，把从被试验IC器件读出的应答信号通过试验头及电缆送到测试器本体，测定被试验IC器件的电特性。 在上述处理器中，向插座推压被试验IC器件的推压器构成为，使得被试验IC器件的外部端子和插座的连接端子切实地接触，且被试验IC器件或插座的连接端子没有破损，以适当的负荷推压被试验IC器件。 因而，在改变被试验IC器件的品种、被试验IC器件的厚度变化时，必须更换成与其对应的推压器。 专利技术要解决的课题可是，近年为了提高工作效率，例如同时试验32个、64个、进而128个被试验IC器件。与此相应，在处理器上设置与被试验IC器件同时测定的数量相同数量的推压器，推压器通常用螺栓固定在适配器上。因而，随着被试验IC器件品种变更的推压器更换作业必须使用扳手拆下多个推压器，之后安装，非常繁杂。特别若被试验IC器件变成多品种的话，则这样的推压器更换作业的负担就变得更大。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的实际情况而提出的，其目的在于提供一种推压构件及电子部件处理装置，其可以很容易地适应电子部件的品种变更，能以适当的负荷推压电子部件。 解决课题的方法为了达到上述目的，本专利技术的第一方面提供一种推压器，其用于在电子部件处理装置中将被试验电子部件的端子向试验头的接点部推压，其包括与被试验电子部件接触的推压子和支承所述推压子的推压器座，所述推压子能够无需工具即可进行装拆地安装于所述推压器座(专利技术1)。 根据上述专利技术(专利技术1)，由于可以不使用工具地更换推压子，故通过适当使用与电子部件的厚度相应的推压子，可以很容易地适应电子部件的品种变更，可以保持适当的负荷推压电子部件。 在上述专利技术(专利技术1)中，所述推压子最好由施力构件推压到为了将所述推压子支承于所述推压器座而设置在所述推压器座上的支承部件或所述推压器座(专利技术2)。根据该专利技术(专利技术2)，推压子可以切实地固定在推压器座上。 在上述专利技术(专利技术1、2)中，所述推压子最好用定位装置定位在所述推压器座上(专利技术3)。根据该专利技术(专利技术3)，可以切实地进行推压子相对于推压器座的定位，从而，能在合适的位置上推压电子部件。 在上述专利技术(专利技术1)中，所述推压子在基部具有凸缘部，在所述推压器座上设有能支承所述推压子的凸缘部的支承部，在所述支承部的一部分上形成开口部，所述推压子也可以通过从所述支承部的开口部向该支承部插入或从所述支承部拔出所述凸缘部，从而能够相对于所述推压器座进行装拆(专利技术4)。 在上述专利技术(专利技术4)中，最好在所述推压器座上设置能向所述推压子侧突出且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压子侧施力(专利技术5)。根据该专利技术(专利技术5)，可以把推压子的凸缘部按向设在推压器座上的支承部，因而，推压子可以切实地固定在推压器座上。作为突出构件，可以举球塞的球为例，但不限于此。 在上述专利技术(专利技术5)中，最好在所述推压子中形成可以与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部(专利技术6)。在该专利技术(专利技术6)中，通过推压子的凹部和推压器座的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。 在上述专利技术(专利技术4)中，也可以在所述推压子中设置能向所述推压器座侧突出、且能向所述推压子的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压器座侧加力(专利技术7)。根据该专利技术(专利技术7)，可以将推压子的凸缘部按向设在推压器座上的支承部，从而，推压子可以切实地固定在推压器座上。 在上述专利技术(专利技术7)中，最好在所述推压器座上形成可以与设在所述推压子上的突出构件卡合的凹部(专利技术8)。在该专利技术(专利技术8)中，通过推压器座的凹部和推压子的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。 在上述专利技术(专利技术4)中，也可以在所述推压器座上设置能从设有所述推压子一侧的面突出、且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向设有所述推压子一侧加力，所述突出构件能与在所述推压器座上位于规定位置的所述推压子的侧端部卡合(专利技术9)。 在上述专利技术(专利技术9)中，通过推压器座的侧端部和推压器座的突出构件卡合，可以切实地进行推压子相对推压器座的定位。 在上述专利技术(专利技术4)中，设在所述推压器座上的支承部也可以把所述推压子按向所述推压器座侧(专利技术10)。根据该专利技术(专利技术10)，可以将推压子切实地固定在推压器座上。 在上述专利技术(专利技术10)中，设在所述推压器座上的支承部由相对所述推压器座可动的支承构件构成，所述支承构件也可以由弹性体向所述推压器座侧加力(专利技术11)，设在所述推压器座上的支承部用由弹性体组成的支承构件构成，所述支承构件也可以用该支承构件自身的弹力把所述推压子固定在所述推压器座上(专利技术12)。 在上述专利技术(专利技术1)中，所述推压子具有向所述推压器座侧凸起的凸部，在所述推压器座上形成所述推压子的凸部可以嵌合的空间部，所述推压子也可以通过把所述推压子的凸部插入所述推压器座的空间部或从所述空间部拔出，从而能相对于所述推压器座拆装(专利技术13)。 在上述专利技术(专利技术13)中，最好在所述推压器座上设置能向所述空间部突出、且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述空间部中与所述突出部件相向的壁部侧加力(专利技术14)。根据该专利技术(专利技术14)，可以把推压子的凸部按向推压器座的空间部的一个壁部，从而推压子可以切实地固定在推压器座上。 在上述专利技术(专利技术14)中，最好在所述推压子的凸部上形成可以与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部(专利技术15)。在该专利技术(专利技术15)中，通过推压子的凸部的凹部和推压器座的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。 本专利技术的第二方面提供一种电子部件处理装置(专利技术16)，其用于进行电子部件的试验、可以把被试验的电子部件的端子按向试验头的接点部，其装有所述推压器(专利技术1～15)。 专利技术的效果根据本专利技术的推压构件及电子部件处理装置，由于可以不使用工具更换推压子，故可以通过适当使用对应电子部件厚度的推压子，可以很容易地适应电子部件的品种的变更，可以保持适当的负荷推压电子部件。附图说明图1是包含本专利技术一实施方式的处理器的IC器件试验装置的整体侧面图；图2是该实施方式的处理器的立体图；图3是该实施方式的处理器的试验腔室内的主要部分的剖面图；图4是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近结构的分解立体图；图5是该实施方式的处理器中的推压器的平面图(a)、部分剖面的正面图(b)、底面图(c)及剖面图(d)；图6是表示该实施方式的处理器中的匹配板的立体图；图7是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近的剖面图；图8是说明该实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种推压器，其用于在电子部件处理装置中将被试验电子部件的端子向试验头的接点部推压，其特征在于，具备与被试验电子部件接触的推压子、和支承所述推压子的推压器座，所述推压子以无需工具即可进行装拆的方式安装在所述推压器座上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种推压器，其用于在电子部件处理装置中将被试验电子部件的端子向试验头的接点部推压，其特征在于，具备与被试验电子部件接触的推压子、和支承所述推压子的推压器座，所述推压子以无需工具即可进行装拆的方式安装在所述推压器座上。2.如权利要求1所述的推压器，其特征在于，所述推压子被施力构件推压到支承部件或所述推压器座上，所述支承部件为了将所述推压子支承于所述推压器座而设置在所述推压器座上。3.如权利要求1或2所述的推压器，其特征在于，所述推压子借助定位装置定位在所述推压器座上。4.如权利要求1所述的推压器，其特征在于，所述推压子在基部有凸缘部，在所述推压器座上设有能够支承所述推压子的凸缘部的支承部，在所述支承部的一部分上形成开口部，所述推压子通过从所述支承部的开口部向该支承部插入或从所述支承部拔出所述凸缘部，从而能够相对于所述推压器座装拆。5.如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上设置能够向所述推压子侧突出、且能够向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压子侧施力。6.如权利要求5所述的推压器，其特征在于，在所述推压子中形成能够与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部。7.如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压子中设置能够向所述推压器座侧突出、且能够向所述推压子的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压器座侧施力。8.如权利要求7所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上形成能够与设在所述推压子上的突出构件卡合的凹部。9.如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶山久夫，齐藤登，佐川慎，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]