电子部件试验装置以及电子部件试验装置的接触臂的最优按压条件设定方法制造方法及图纸

本发明专利技术的电子部件试验装置（１０）具备：使ＩＣ器件移动并按压到插座３０１上的接触臂（３１２）；控制接触臂（３１２）的控制装置（３１６）；向控制装置（３１６）指示接触臂（３１２）的按压扭矩的指示部件（３２１）；从测试器（２０）取得在按照由指示部件（３２１）指示的扭矩由接触臂（３１２）将ＩＣ器件按压在插座（３０１）上时执行的ＩＣ器件的试验结果的取得部件（３２２）；与由取得部件（３２２）取得的试验结果对应地，对向控制装置（３１６）指示的扭矩进行修正的修正部件（３２３）；在修正部件（３２３）没有修正扭矩的情况下，将试验结果正常的试验时的行程设定为最优行程的设定部件（３２４）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于对半导体集成电路元件等各种电子部件(以下也代表性地称为IC器件)的电气性能进行试验的电子部件试验装置，特 别涉及在IC器件的品种更换等时能够自动地设定接触臂(contact arm)的最优行程(stroke)和按压扭矩等按压条件的电子部件试验装 置。
技术介绍
在IC器件等电子部件的制造过程中，为了对制造出的电子部件的 性能或功能进行试验而使用电子部件试验装置。作为现有的一个例子的电子部件试验装置具备进行IC器件的试 验的测试部件；将试验前的IC器件送入测试部件的装栽部件；从测试 部件取出试验后的IC器件进行分类的卸载部件。另外，在装栽部件设 置有装栽部件运送装置，它具有能够在装栽部件和测试部件之间来 回移动的緩冲台；吸附保持IC器件的吸附部件，并且能够在从用户托 盘到加热盘和从加热盘到緩冲台的区域中移动。另外，在测试部件中 还设置有测试部件运送装置，它具有能够吸附保持IC器件并将其按压 在测试头上的接触臂，并且能够在测试部件的区域中移动。装载部件运送装置在通过吸附部件吸附保持容纳在用户托盘中的 IC器件而装载到加热盘上后，再次通过吸附部件吸附保持被加热到规 定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，是为了对被试验电子部件的电气特性进行试验，而使上述被试验电子部件与插座电接触的电子部件试验装置，其特征在于包括：　　　　使上述被试验电子部件相对于上述插座沿着垂直方向移动，将上述被试验电子部件按压到上述插座上的接触臂；　　　　控制上述接触臂的移动动作的控制单元；　　　　向上述控制单元指示将上述被试验电子部件按压到上述插座上时的上述接触臂的扭矩的指示单元；　　　　从测试器取得在按照由上述指示单元指示了的扭矩由上述接触臂将上述被试验电子部件按压到上述插座上时执行的上述被试验电子部件的试验结果的取得单元；　　　　根据由上述取得单元取得的试验结果，对由上述指示单元向控制单元指示的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：金子茂树，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]