本发明专利技术的电子部件试验装置（１０）具备：使ＩＣ器件移动并按压到插座３０１上的接触臂（３１２）；控制接触臂（３１２）的控制装置（３１６）；向控制装置（３１６）指示接触臂（３１２）的按压扭矩的指示部件（３２１）；从测试器（２０）取得在按照由指示部件（３２１）指示的扭矩由接触臂（３１２）将ＩＣ器件按压在插座（３０１）上时执行的ＩＣ器件的试验结果的取得部件（３２２）；与由取得部件（３２２）取得的试验结果对应地，对向控制装置（３１６）指示的扭矩进行修正的修正部件（３２３）；在修正部件（３２３）没有修正扭矩的情况下，将试验结果正常的试验时的行程设定为最优行程的设定部件（３２４）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于对半导体集成电路元件等各种电子部件(以下也代表性地称为IC器件)的电气性能进行试验的电子部件试验装置，特 别涉及在IC器件的品种更换等时能够自动地设定接触臂(contact arm)的最优行程(stroke)和按压扭矩等按压条件的电子部件试验装 置。
技术介绍
在IC器件等电子部件的制造过程中，为了对制造出的电子部件的 性能或功能进行试验而使用电子部件试验装置。作为现有的一个例子的电子部件试验装置具备进行IC器件的试 验的测试部件；将试验前的IC器件送入测试部件的装栽部件；从测试 部件取出试验后的IC器件进行分类的卸载部件。另外，在装栽部件设 置有装栽部件运送装置，它具有能够在装栽部件和测试部件之间来 回移动的緩冲台；吸附保持IC器件的吸附部件，并且能够在从用户托 盘到加热盘和从加热盘到緩冲台的区域中移动。另外，在测试部件中 还设置有测试部件运送装置，它具有能够吸附保持IC器件并将其按压 在测试头上的接触臂，并且能够在测试部件的区域中移动。装载部件运送装置在通过吸附部件吸附保持容纳在用户托盘中的 IC器件而装载到加热盘上后，再次通过吸附部件吸附保持被加热到规 定的温度的加热盘上的IC器件而装载到緩冲台上。另外，装载了 IC 器件的緩沖台从装载部件移动到测试部件侧。接着，测试部件运送装 置通过接触臂吸附保持緩冲台上的IC器件并按压到测试头的插座上， 使IC器件的外部端子(器件端子)与插座的接触端子(插座端子)接在该状态下，向IC器件施加从测试器主体通过电缆向测试头供给 的测试信号，并通过测试头和电缆向测试器主体传送从IC器件读出的 响应信号，由此测定IC器件的电气特性。但是，将吸附保持的IC器件按压到插座上时的接触臂的沿z轴方向的行程根据IC器件的品种而不同，因此必须在每次更换作为测试 对象的IC器件的品种时重新设定。一般在如下这样的指示(teaching )作业中进行该接触臂的行程设 定。首先，根据插座上的触针(contact pin)的个数、每个触针所需 要的载重、测试头上的插座的个数等，求出理论扭矩。接着，使吸附 保持了 IC器件的接触臂向下方移动而使IC器件与插座接触。接着， 如果实际的扭矩达到了理论扭矩，则停止接触臂的下方移动，将该状 态下的接触臂的行程指示为在实际的试验中进行的最终扭矩。但是，在通过这样的方法指示了行程的情况下，如果不实际执行 试验，则无法判断试验时IC器件是否确实地与插座电接触，因此并不 一定是最优行程。另外，即使按照通过上述方法指示了的行程正常执行试验，在理 论扭矩大于必要值以上时，由于强力地按压IC器件，所以会造成插座 的寿命减少。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在IC器件的品种更换等时能够自动地设定接触臂的最优按压条件的电子部件试验装置。(l)为了达到上述目的，根据本专利技术，提供一种电子部件试验装置，是为了对被试验电子部件的电气特性进行试验，而使上述被试验 电子部件与插座电接触的电子部件试验装置，具备使上述被试验电子部件相对于上述插座沿着垂直方向移动，将上述被试验电子部件按 压到上述插座上的接触臂；控制上述接触臂的移动动作的控制单元； 向上述控制单元指示将上述被试验电子部件按压到上述插座上时的上述接触臂的扭矩的指示单元；从测试器取得在按照由上述指示单元指执行的上述被试验电子部件的试验结果的取得单元；根据由上述取得 单元取得的试验结果，对由上述指示单元向控制单元指示的扭矩进行 修正的修正单元；在没有由上述修正单元对扭矩进行修正的情况下，验时使用的最优按压条件的设定单元(参考权利要求1) 。、 二 ''在本专利技术中，在电子部件试验装置中设置有向控制单元指示按压 扭矩的指示单元、取得试验结果的取得单元、修正按压扭矩的修正单 元、以及设定最优按压条件的设定单元。另外，按照由指示单元指示的扭矩由接触臂将被试验电子部件按 压到插座上，在该状态下由测试器执行试验，由取得单元从测试器取 得试验结果，根据该试验结果由修正单元对扭矩进行修正，在没有由 修正单元修正扭矩的情况下，由设定单元将正常试验时的接触臂的按 压条件设定为最优按压条件。由此，在IC器件的品种更换时和插座的更换等时能够自动设定接 触臂的最优按压条件。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在上述接触臂的按压 条件中包含上述接触臂的沿着垂直方向的行程，在没有由上述修正单 元修正扭矩的情况下，上述设定单元将试验结果正常了的试验时的上 述接触臂的沿着垂直方向的行程设定为在实际的试验时使用的最优行 程(参考权利要求2)。另外，接触臂的行程可以在没有由修正单元修正扭矩的情况下再 次执行正常的试验，并在此时由设定单元测定，或者也可以在每次由 测试器执行的试验时由设定单元测定。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在由上述取得单元从 上述测试器取得的试验结果表示异常的情况下，上述修正单元进行修 正而使由上述指示单元向上述控制单元指示的扭矩增加(参考权利要 求3)。通过在试验结果表示异常的情况下使扭矩增加，能够消除因行程 不足造成的被试验电子部件与插座的不接触。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是直到由上述取得单元 取得的试验结果表示正常为止，由上述修正单元使扭矩增加，由上述 指示单元向上述控制单元指示该增加了的扭矩，循环执行由上述取得 单元取得在按照该增加了的扭矩由上述接触臂对上述被试验电子部件 进行按压时执行的上述被试验电子部件的试验结果的循环动作(参考权利要求4 )。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在以规定次数以上地 由上述修正单元进行使扭矩增加的修正的情况下，中止行程的设定(参 考权利要求5 )。由此，在因被试验电子部件与插座的不接触的主要原因是行程不 足以外，而不能完全确保被试验电子部件与插座的电接触这样的情况 下，能够中止最优行程设定作业。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在由上述取得单元取 得的试验结果表示正常的情况下，上述修正单元不对扭矩进行修正， 而上述设定单元将该试验时的行程设定为最优行程(参考权利要求6 )。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在由上述取得单元取 得的试验结果表示正常的情况下，上述修正单元进行使上述指示单元 向上述控制单元指示的扭矩减少的修正(参考权利要求7)。通过在确保被试验电子部件与插座的电接触的情况下减少扭矩， 能够防止因过剩的扭矩造成的插座的寿命减少。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是直到由上述取得单元 取得的试验结果表示异常为止，由上述修正单元使扭矩减少，由上述 指示单元向上述控制单元指示该减少了的扭矩，循环执行由上述取得 单元取得在按照该减少了的扭矩由上述接触臂对上述被试验电子部件 进行按压时执行的上述被试验电子部件的试验结果的循环动作(参考 权利要求8)。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是在由上述取得单元取得的第N + l次(其中N是自然数)的试验结果表示异常的情况下， 上述修正单元不对扭矩进行修正，而上述设定单元将第N次试验时的 行程设定为最优行程(参考权利要求9)。在本专利技术的电子部件试验装置中，理想的是上述修正单元一次减 少的扭矩减少率与上述修正单元一次增加的扭矩增加率相比相对地小 (参考权利要求10 )。在本专利技术的电子部件试验本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电子部件试验装置，是为了对被试验电子部件的电气特性进行试验，而使上述被试验电子部件与插座电接触的电子部件试验装置，其特征在于包括： 使上述被试验电子部件相对于上述插座沿着垂直方向移动，将上述被试验电子部件按压到上述插座上的接触臂； 控制上述接触臂的移动动作的控制单元； 向上述控制单元指示将上述被试验电子部件按压到上述插座上时的上述接触臂的扭矩的指示单元； 从测试器取得在按照由上述指示单元指示了的扭矩由上述接触臂将上述被试验电子部件按压到上述插座上时执行的上述被试验电子部件的试验结果的取得单元； 根据由上述取得单元取得的试验结果，对由上述指示单元向控制单元指示的扭矩进行修正的修正单元； 在没有由上述修正单元对扭矩进行修正的情况下，将试验结果正常的试验时的上述接触臂的按压条件设定为在实际的试验时使用的最优按压条件的设定单元。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：金子茂树，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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