PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置
本技术涉及化学气相沉积
，尤其涉及一种PECVD射频馈入电极系统。
技术介绍
目前PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积)射频馈入电极系统采用的工作电极的延伸方向通常为同一方向，较为常见的是处为水平方向或垂直方向。如若需要使PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换，需要将当前的工作电极拆卸，并更换为相应的的另一工作电极，步骤比较繁琐，且生产效率低下。
技术实现思路
本技术的目的在于：提供一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，以解决相关技术中的PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换时拆装步骤繁琐，且效率低下的问题。一方面，本技术提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；所述通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个所述静本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片(4)、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；/n所述通断控制组件包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，两个所述静触端(1)均与所述射频电极片(4)连接，且两个所述动触端(2)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接；/n所述动触端(2)具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(...

【技术特征摘要】
1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片(4)、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；
所述通断控制组件包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，两个所述静触端(1)均与所述射频电极片(4)连接，且两个所述动触端(2)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接；
所述动触端(2)具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)连接，当所述动触端(2)位于所述第二位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)分离。


2.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述通断控制组件还包括与所述静触端(1)连接的馈入电极(5)，两个所述馈入电极(5)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端(2)均与所述射频电极片(4)连接。


3.根据权利要求2所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座(8)，各个所述馈入电极(5)均固定于所述底座(8)。


4.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(2)与所述静触端(1)面接触。


5.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓必龙，郑利勇，
申请(专利权)人：龙鳞深圳新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44