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本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端...
该专利属于龙鳞(深圳)新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过龙鳞(深圳)新材料科技有限公司授权不得商用。

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