一种太阳能光伏镀晶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种太阳能光伏镀晶装置，包括镀膜室，镀膜室周向缠绕镀膜室电热丝，镀膜室内部上端设有顶部气室，顶部气室两端设有端部小孔，顶部气室下端设有上电极板，上电极板下端设有下电极板，下电极板上端设有石墨舟，石墨舟上放置电池板。镀膜室上端设有工艺气体罐，工艺气体罐下端连接有供气管，供气管中部设有单向阀B，供气管下端连接有缓冲加温室，缓冲加温室左端设有温显，缓冲加温室周向缠绕有缓冲室电热丝，缓冲加温室下端连接有流量表，流量表下端连接有控制阀C，控制阀C下端连接在镀膜室上端。本实用新型专利技术的有益效果为：PECVD罐体受力均匀。工艺气体进入镀膜室时，先预热，并通过顶部气室两端流出，气流均匀，成膜时厚度均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能光伏镀晶装置
本技术涉及光伏制造
，特别是涉及一种太阳能光伏镀晶装置。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池的生产过程中，需要在电池表面制作能够减少光在硅片表面反射率的减反射膜，可以显著提高晶体硅太阳能电池的转化效率。目前的晶体硅太阳能电池生产中制作减反射膜的设备一般采用PECVD镀膜设备。目前PECVD设备为长方体，当抽空后，外界大气压力对设备压力不均匀，存在不安全因素，另外工艺气体进入镀膜室时，没有预热，直接从设备顶部注入，导致通入后形成乱流，影响成膜均匀性。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供如下方案。本技术的一种太阳能光伏镀晶装置，包括镀膜室，所述镀膜室周向缠绕镀膜室电热丝，所述镀膜室内侧右端设有热敏电阻，所述镀膜室内部上端设有顶部气室，所述顶部气室两端设有端部小孔，所述顶部气室下端设有上电极板，所述上电极板下端设有下电极板，所述下电极板下端四角设有下电极撑杆，所述下电极撑杆固定在所述镀膜室内部下端，所述下电极板上端四角设有上电极撑杆，所述上电极撑杆上端固定在所述上电极板上，所述上电极板和所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能光伏镀晶装置，其特征在于，包括镀膜室（1），所述镀膜室（1）周向缠绕镀膜室电热丝（12），所述镀膜室（1）内侧右端设有热敏电阻（13），所述镀膜室（1）内部上端设有顶部气室（14），所述顶部气室（14）两端设有端部小孔（15），所述顶部气室（14）下端设有上电极板（21），所述上电极板（21）下端设有下电极板（22），所述下电极板（22）下端四角设有下电极撑杆（23），所述下电极撑杆（23）固定在所述镀膜室（1）内部下端，所述下电极板（22）上端四角设有上电极撑杆（24），所述上电极撑杆（24）上端固定在所述上电极板（21）上，所述上电极板（21）和所述下电极板（22）右端分别通...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能光伏镀晶装置，其特征在于，包括镀膜室（1），所述镀膜室（1）周向缠绕镀膜室电热丝（12），所述镀膜室（1）内侧右端设有热敏电阻（13），所述镀膜室（1）内部上端设有顶部气室（14），所述顶部气室（14）两端设有端部小孔（15），所述顶部气室（14）下端设有上电极板（21），所述上电极板（21）下端设有下电极板（22），所述下电极板（22）下端四角设有下电极撑杆（23），所述下电极撑杆（23）固定在所述镀膜室（1）内部下端，所述下电极板（22）上端四角设有上电极撑杆（24），所述上电极撑杆（24）上端固定在所述上电极板（21）上，所述上电极板（21）和所述下电极板（22）右端分别通过导线连接在电源系统（2）上，所述下电极板（22）上端设有石墨舟（3），所述石墨舟（3）上放置电池板（4）；
所述镀膜室（1）上端设有工艺气体罐（8），所述工艺气体罐（8）下端连接有供气管（81），所述供气管（81）中部设有单向阀B（82），所述供气管（81）下端连接有缓冲加温室（9），所述缓冲加温室（9）...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁钢柱，
申请(专利权)人：山西奥元威德科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14