PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。

PECVD RF feed electrode system and PECVD device

【技术实现步骤摘要】
PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置
本专利技术涉及化学气相沉积
，尤其涉及一种PECVD射频馈入电极系统。
技术介绍
目前PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积)射频馈入电极系统采用的工作电极的延伸方向通常为同一方向，较为常见的是处为水平方向或垂直方向。如若需要使PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换，需要将当前的工作电极拆卸，并更换为相应的的另一工作电极，步骤比较繁琐，且生产效率低下。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：提供一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，以解决相关技术中的PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换时拆装步骤繁琐，且效率低下的问题。一方面，本专利技术提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；所述通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个所述静触端均与所述射频电极片连接，且两个所述动触端分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接；所述动触端具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端连接，以驱动所述动触端在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端位于所述第一位置时，所述动触端与所述静触端连接，当所述动触端位于所述第二位置时，所述动触端与所述静触端分离。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述通断控制组件还包括与所述静触端连接的馈入电极，两个所述馈入电极分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端均与所述射频电极片连接。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座，各个所述馈入电极均固定于所述底座。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端与所述静触端面接触。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端和所述静触端中的一个包括插片，另一个包括插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，所述插片与所述插槽插接，且所述插片与所述插槽的槽壁贴合。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述插槽由间隔且相对设置的两个弹性片形成，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弹性片均能够抵紧所述插片。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述弹性片包括支撑片，以及连接于所述支撑片的弧形片，两个所述弹性片的所述弧形片之间形成所述插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弧形片均能够抵紧所述插片。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接，所述通断控制组件还包括弹性连接件，所述弹性连接件分别与所述动触端连接和所述射频电极片连接。作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述弹性连接件呈几字形且由金属片折弯而成，所述弹性连接件的两个自由端中的一个与所述射频电极片，另一个与对应的所述动触端连接。另一方面，本专利技术提供一种PECVD装置，包括上述任一方案中的PECVD射频馈入电极系统。本专利技术的有益效果为：本专利技术提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极的延伸方向与第二电极的延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，或者两个动触端均与射频电极片连接，且两个静触端分别与第一电极和第二电极连接；驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向的第一电极或第二电极单独连通，可有效提高工作效率。附图说明图1为本专利技术实施例中PECVD射频馈入电极系统的结构示意图；图2为本专利技术实施例中底座与馈入电极的结构示意图一。图3为本专利技术实施例中底座与馈入电极的结构示意图二图4为本专利技术实施例中底座与馈入电极的结构示意图三。图中：1、静触端；11、第二底座；12、弹性片；121、支撑片；122、弧形片；13、插槽；2、动触端；21、插片；211、导向面；22、第一底座；3、气缸；4、射频电极片；41、第一片体；42、第二片体；5、馈入电极；6、弹性连接件；7、连接片；8、底座。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。本实施例提供一种PECVD装置，用于在基材表面镀膜。该PECVD装置包括PECVD射频馈入电极系统，如图1所示，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片4、第一电极(附图中未示出)、第二电极(附图中未示出)和两个通断控制组件，第一电极的延伸方向与第二电极的延伸方向呈夹角设置，其中，第一电极和第二电极用于在基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片(4)、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；/n所述通断控制组件包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，两个所述静触端(1)均与所述射频电极片(4)连接，且两个所述动触端(2)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接；/n所述动触端(2)具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)连接，当所述动触端(2)位于所述第二位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片(4)、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；
所述通断控制组件包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，两个所述静触端(1)均与所述射频电极片(4)连接，且两个所述动触端(2)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接；
所述动触端(2)具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)连接，当所述动触端(2)位于所述第二位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)分离。


2.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述通断控制组件还包括与所述静触端(1)连接的馈入电极(5)，两个所述馈入电极(5)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端(2)均与所述射频电极片(4)连接。


3.根据权利要求2所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座(8)，各个所述馈入电极(5)均固定于所述底座(8)。


4.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(2)与所述静触端(1)面接触。


5.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓必龙，郑利勇，
申请(专利权)人：龙鳞深圳新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44