【技术实现步骤摘要】
石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备
本技术涉及太阳能工艺设备领域，特别是涉及一种石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备。
技术介绍
随着新能源行业的发展，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。PECVD设备作为太阳能电池片镀减反射膜的主要设备。其工作原理是利用等离子增强化学气相沉积法给硅片镀上一层减反射膜。石墨舟作为PECVD设备工艺的载体，石墨舟的大小和承载硅片的数量决定了设备完成一次镀膜的工艺能得到的镀膜后硅片的数量，此数量决定了设备的产能。目前石墨舟承载硅片在进行工艺时，主要通过射频给石墨舟片在高频电流，再使反应室气体发生辉光放电，在辉光放电区域产生大量的电子，达到工艺反应条件。但目前光伏行业所用到的石墨舟舟片长度都没超过2米，舟片数量都没超过30片，单舟产能都有局限，主要存在的问题在于：石墨舟片数量超过30片后，在同等长度的情况下，舟片数量越多，石墨舟工艺放电需要的功率越高，射频电源波峰越高，越难控制，会造成硅片与石墨舟...
【技术保护点】
1.一种石墨舟，包括多片纵向间隔排列的石墨舟片（1），其特征在于，所述石墨舟沿纵向分成多个子单元（2），相邻两个子单元（2）的相邻两片石墨舟片（11）之间填充绝缘材料（3），且每个子单元都设有独立电极形成单独的辉光区。/n
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，包括多片纵向间隔排列的石墨舟片（1），其特征在于，所述石墨舟沿纵向分成多个子单元（2），相邻两个子单元（2）的相邻两片石墨舟片（11）之间填充绝缘材料（3），且每个子单元都设有独立电极形成单独的辉光区。
2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（11）延长度方向为一个整体。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓金生，王凯，赵峰，李操政，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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